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  • 1 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程

主题

  • 1 篇 分区加热
  • 1 篇 成像系统
  • 1 篇 热像差
  • 1 篇 投影光刻物镜
  • 1 篇 元件位移

机构

  • 1 篇 中国科学院长春光...
  • 1 篇 中国科学院大学

作者

  • 1 篇 徐象如
  • 1 篇 黄玮
  • 1 篇 徐明飞
  • 1 篇 贾树强

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=元件位移"
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同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究
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光学学报 2015年 第10期35卷 103-110页
作者： 徐象如 黄玮 贾树强 徐明飞 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 吉林长春130033 中国科学院大学 北京100049
热像差是导致光刻物镜工作状态下像质劣化的主要原因之一。针对同轴两反式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的结构特点,提出了将元件位移法和元件分区加热法相结合,共同补偿热像差的方案。元件位移法通过改变元件的间隔、偏心或倾斜量来调节... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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