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光热微驱动机构动态响应特性的理论与实验研究

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光电子．激光 2017年第5期28卷 470-475页

作者：尤清扬王英达秦春章海军浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027

理论和实验研究了脉冲激光照射下光热微驱动机构的动态响应特性,建立了微膨胀臂的光热温升及光热膨胀的动态模型,导出了动态光热膨胀伸长量及振幅的计算公式,并通过Matlab仿真得到它们与激光脉冲频率之间的理论关系曲线。设计与微加工... 详细信息

理论和实验研究了脉冲激光照射下光热微驱动机构的动态响应特性,建立了微膨胀臂的光热温升及光热膨胀的动态模型,导出了动态光热膨胀伸长量及振幅的计算公式,并通过Matlab仿真得到它们与激光脉冲频率之间的理论关系曲线。设计与微加工制作了一种总长为700μm的非对称型光热微驱动机构(A-OTMA),在功率为2 mW、频率为2~18Hz可调的脉冲激光照射控制下开展了动态光热驱动实验。采用显微视频成像系统及运动测量软件,对A-OTMA光热微驱动过程进行了实时监测和测量。实验结果表明,A-OTMA能够以与激光脉冲相同的频率实现周期性偏转运动,光热偏转量及振幅随激光脉冲频率的增大而减小,其变化趋势与理论曲线吻合,获得的最大偏转量振幅为14.9μm(2 Hz时),最大响应频率至少达到18Hz。本文的动态响应特性的理论和实验研究,为OTMA在微光机电系统(MOEMS)及微纳米技术领域的实际应用提供了技术基础。

关键词：光热膨胀光热微驱动机构(OTMA) 动态响应特性偏转量

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液体环境中的光热微驱动方法与技术研究

光电工程 2021年第11期48卷 11-19页

作者：倪凯佳章海军尤清扬张子尧浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027

提出和发展了适用于液体(水)环境的光热微驱动技术及光热微驱动机构(OTMA)。建立了水环境中OTMA膨胀臂在激光照射下的光热膨胀模型,基于有限元分析推导出膨胀臂的温升分布公式,并对长度1080μm、宽度90μm的膨胀臂在4 mW激光照射下的温... 详细信息

提出和发展了适用于液体(水)环境的光热微驱动技术及光热微驱动机构(OTMA)。建立了水环境中OTMA膨胀臂在激光照射下的光热膨胀模型,基于有限元分析推导出膨胀臂的温升分布公式,并对长度1080μm、宽度90μm的膨胀臂在4 mW激光照射下的温升分布进行了仿真,理论研究表明了液体环境中光热微驱动技术的可行性。设计与微加工制作了一种对称型OTMA,在波长520 nm、功率可调的激光照射下,首次实现了液体环境中的光热微驱动,实验结果表明膨胀臂的光热偏转量随激光功率的增大而增加。进一步开展了在波长520 nm、有效功率4 mW、频率可调的激光脉冲照射下的光热微驱动实验,结果表明,对称型OTMA在频率0.9 Hz~16.4 Hz的激光脉冲照射下具有良好的动态响应,驱动量(偏转量)振幅在2.6μm~3.7μm之间变化,随激光脉冲频率的增大而减小。理论研究及实验曲线趋势表明,适当增大激光功率、提高激光脉冲频率,在液体环境中实现更大偏转量、更高频率的光热微驱动是完全可行的。本文研究拓展了液体环境中的光热微驱动技术,为微光机电系统及微纳米技术领域的应用提供了新的方法与途径。

关键词：光热微驱动技术液体环境光热膨胀模型动态响应偏转量

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基于光电技术的气磁悬浮电机位姿检测方法

扬州大学学报（自然科学版） 2021年第1期24卷 30-34页

作者：竺志大唐率曾励寇海江戴敏杨坚张帆扬州大学机械工程学院江苏扬州225127

为解决新型气磁悬浮电机位姿检测系统结构复杂、计算繁琐等问题,提出了一种基于光学测量技术的非接触检测装置.分别在电机转子系统和定子上布置安装硅光电池阵列和环形光源,转子带动硅光电池阵列发生偏转位移,导致硅光电池受光面积发生... 详细信息

为解决新型气磁悬浮电机位姿检测系统结构复杂、计算繁琐等问题,提出了一种基于光学测量技术的非接触检测装置.分别在电机转子系统和定子上布置安装硅光电池阵列和环形光源,转子带动硅光电池阵列发生偏转位移,导致硅光电池受光面积发生改变,使短路电流下降,建立电流与位移的数学模型,搭建试验平台,检测转子振动幅度.试验表明,该方法能准确检测电子转子系统偏转量,为气磁悬浮电机研究奠定了基础,具有一定的理论和实用价值.

关键词：气磁悬浮光学测量数学模型偏转量

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惠斯通电桥灵敏度的讨论

河北民族师范学院学报 1989年第3期23卷 57-58页

作者：李石玉

惠斯通电桥的电路如图所示: 电桥的灵敏度为:S=△n/((△Rx)/(Rx)) (1)△Rx 为电桥平衡后Rx的微小改变量,△n为Rx改变△Rx时,即电桥偏离平衡时,检流计指针偏转的格数。对同样的Rx和△Rx,△n越大说明电桥灵敏度越高。可见选用灵敏度较... 详细信息

惠斯通电桥的电路如图所示: 电桥的灵敏度为:S=△n/((△Rx)/(Rx)) (1)△Rx 为电桥平衡后Rx的微小改变量,△n为Rx改变△Rx时,即电桥偏离平衡时,检流计指针偏转的格数。对同样的Rx和△Rx,△n越大说明电桥灵敏度越高。可见选用灵敏度较高的检流计,可以提高电桥的灵敏度。另外,由于检流计偏转量与流过它的电流的大小成正比,于是可以通过讨论电桥偏离平衡时,流过检流计的电流Ig的大小来讨论电桥的灵敏度。

关键词：惠斯通电桥电桥的灵敏度检流计灵敏度电桥平衡电桥灵敏度电源电动势偏转量指针偏转比率臂改变量

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印刷质量实时检测研究

北京印刷学院学报 2011年第2期19卷 7-8,12页

作者：姜东升北京印刷学院印刷与包装工程学院北京102600

为了实现对印刷品的实时检测,在印刷品定位方面,针对印刷实际生产提出假设,设定实时检测中印刷品的偏移量为一有限值,利用对套准的识别来判定偏移量,从而将数据传递给输纸机构进行校正。在判断印刷品是否发生偏转时,采用印刷套准标记与... 详细信息

为了实现对印刷品的实时检测,在印刷品定位方面,针对印刷实际生产提出假设,设定实时检测中印刷品的偏移量为一有限值,利用对套准的识别来判定偏移量,从而将数据传递给输纸机构进行校正。在判断印刷品是否发生偏转时,采用印刷套准标记与位移定位和旋转定位相结合的方法,可对待测印刷品进行分析和检测,迅速校正印刷质量,并找出故障所在区域,从而找出故障印刷品。

关键词：套准标记偏移量偏转量检测