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毛细管电泳-非接触式电导法直接测定偏硅酸

分析化学 2011年第4期39卷 568-571页

作者：李二庭杨丽蓉黄文惠王鑫谢天尧中山大学化学与化学工程学院中山大学环境科学与工程学院

采用毛细管电泳-电容耦合非接触式电导检测（CE-C4D）,以2.4 mmol/L KOH+1.6 mmol/LK2HPO4+0.4 mmol/L十六烷基溴化铵（CTMAB）为电泳运行液,融硅石英毛细管（45 cm×50 mm,有效长度40 cm）,负高压分离（-15 kV）,偏硅酸可在6.0 min内... 详细信息

采用毛细管电泳-电容耦合非接触式电导检测（CE-C4D）,以2.4 mmol/L KOH+1.6 mmol/LK2HPO4+0.4 mmol/L十六烷基溴化铵（CTMAB）为电泳运行液,融硅石英毛细管（45 cm×50 mm,有效长度40 cm）,负高压分离（-15 kV）,偏硅酸可在6.0 min内实现与基体共存离子的基线分离,线性检测范围为2.0;0.0 mg/L,检出限为0.5 mg/L。峰面积的日内和日间的相对标准偏差（RSD）分别为3.5%和3.8%。考察了电泳运行液的组成、浓度以及共存组分的干扰（特别是磷酸盐和有色基体的干扰）对灵敏度和分离度的影响。本方法应用于有色基体和饮用矿泉水中偏硅酸含量的快速灵敏检测,取得满意结果。

关键词：偏硅酸毛细管电泳非接触式电导有色基体饮用矿泉水

江西省萍乡市北部区域发现富锶和偏硅酸矿泉水与开发建议

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中国地质 2022年第2期49卷 677-678页

作者：王盘喜曹员兵冯乃琦赵毅斌王振宁钟斌中国地质科学院郑州矿产综合利用研究所河南郑州450006 国家非金属矿资源综合利用工程技术研究中心河南郑州450006 江西省地质调查研究院江西南昌330030

1研究目的(Objective)萍乡是江西的“西大门”,素有“湘赣通衢”、“吴楚咽喉”之称、“赣西”明珠之美誉,萍乡以煤立市,曾被誉为“江南煤都”。长期的煤矿开采,已面临资源枯竭,城市亟需转型发展。开展水文、灾害等环境地质调查,为资源... 详细信息

1研究目的(Objective)萍乡是江西的“西大门”,素有“湘赣通衢”、“吴楚咽喉”之称、“赣西”明珠之美誉,萍乡以煤立市,曾被誉为“江南煤都”。长期的煤矿开采,已面临资源枯竭,城市亟需转型发展。开展水文、灾害等环境地质调查,为资源枯竭型城市经济转型发展具有重要意义。富锶(Sr)和偏硅酸(H_(2)SiO_(3))矿泉水点的发现,为区内矿泉水的勘查开发提供依据,矿泉水的开发具有较高的经济价值和社会效益,为经济发展提供新的增长点,助力当地巩固脱贫攻坚成果。

关键词：资源枯竭型城市经济转型发展脱贫攻坚环境地质调查江西省萍乡市偏硅酸矿泉水萍乡

非抑制型离子色谱法同时测定矿泉水中硼酸和偏硅酸

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色谱 2023年第12期41卷 1121-1126页

作者：杨占强张芳芳韩春霞郑洪国赛默飞世尔科技(中国)有限公司上海201203 赛默飞世尔科技(中国)有限公司四川成都610023

建立了利用非抑制电导检测法同时测定矿泉水中硼酸及偏硅酸(以SiO_(3)^(2-)计)含量的方法。在以Dionex IonPac^(TM)AS20作为分析柱、流速为1.0 mL/min、色谱柱温度为30℃、以6 mmol/L氢氧化钠溶液和60 mmol/L甘露醇作为流动相、进样体... 详细信息

建立了利用非抑制电导检测法同时测定矿泉水中硼酸及偏硅酸(以SiO_(3)^(2-)计)含量的方法。在以Dionex IonPac^(TM)AS20作为分析柱、流速为1.0 mL/min、色谱柱温度为30℃、以6 mmol/L氢氧化钠溶液和60 mmol/L甘露醇作为流动相、进样体积50μL的条件下,偏硅酸和硼酸在8 min内实现有效分离,SiO_(3)^(2-)和硼酸分别在0.25~100 mg/L和0.5~100 mg/L范围内线性关系良好(相关系数均为0.9999)。SiO_(3)^(2-)的方法检出限(MDL)和方法定量限(MQL)分别为0.078 mg/L和0.26 mg/L,硼酸的方法检出限(MDL)和方法定量限(MQL)分别为0.18 mg/L和0.60 mg/L。以实际样品为基质在不同添加水平下进行加标试验,SiO_(3)^(2-)和硼酸的平均加标回收率为97.3%~105.3%,相对标准偏差(RSD)偏硅酸含量进行了检测,9种市售矿泉水均未检出硼酸,6种检测出偏硅酸,含量为18.70~62.08 mg/L,均与厂家包装上所标注的浓度范围一致。该方法可用于饮用矿泉水、实验室用水等领域中,同时也为半导体行业用超纯水中硼酸和偏硅酸的同时检测提供了参考。

关键词：非抑制型离子色谱硼酸偏硅酸矿泉水

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包含偏硅酸影响的3D NAND磷酸湿法刻蚀动力学

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化工学报 2024年

作者：彭子林周蕾邓庆航叶光华周兴贵华东理工大学化学工程联合国家重点实验室

以磷酸为刻蚀剂选择性刻蚀Si3N4和SiO2堆叠结构中的Si3N4，是3D NAND闪存芯片制造过程中最关键的步骤之一。随着3D NAND存储单元堆叠层数的不断升高，扩散限制越来越严重，刻蚀产物偏硅酸浓度梯度不断加大，致使刻蚀工艺面临刻蚀选择性... 详细信息

以磷酸为刻蚀剂选择性刻蚀Si3N4和SiO2堆叠结构中的Si3N4，是3D NAND闪存芯片制造过程中最关键的步骤之一。随着3D NAND存储单元堆叠层数的不断升高，扩散限制越来越严重，刻蚀产物偏硅酸浓度梯度不断加大，致使刻蚀工艺面临刻蚀选择性低、氧化物回沾等问题。针对上述3D NAND湿法刻蚀问题，本工作结合表征和动力学实验，获得了有无偏硅酸影响的磷酸刻蚀Si3N4和SiO2动力学模型。结果显示Si3N4刻蚀过程是水和磷酸等含氧亲核试剂对Si原子的亲核攻击过程，磷酸刻蚀Si3N4和SiO2的反应活化能分别为60.71 kJ·mol-1和66.90 kJ·mol-1，亲核试剂破坏Si—O键所需能量高于Si—N键。包含偏硅酸影响的Si3N4和SiO2刻蚀动力学显示偏硅酸浓度越高Si3N4和SiO2的刻蚀速率越小，并且SiO2刻蚀速率对偏硅酸浓度的变化更敏感。本工作的研究结果可为3D NAND磷酸湿法刻蚀工艺的设计优化提供一定的基础数据和理论认识。

关键词： 3D NAND闪存湿法刻蚀氮化硅氧化硅偏硅酸化学反应动力学动力学模型

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吉林长春地区地下水中发现偏硅酸和锶富集区

中国地质 2017年第5期44卷 1031-1032页

作者：孙岐发田辉郭晓东于慧明马诗敏李丽君沈阳地质矿产研究所/中国地质调查局沈阳地质调查中心辽宁沈阳110034

含有一定量的矿物质、微量元素或其他成分，化学成分、流量、水温等动态指标在天然周期波动范围内相对稳定的矿泉水是一种珍稀的矿产资源。研究区位于吉林省长春市城区东部，交通便利（图1），区内地形东南高西北低，除西北小部分为平... 详细信息

含有一定量的矿物质、微量元素或其他成分，化学成分、流量、水温等动态指标在天然周期波动范围内相对稳定的矿泉水是一种珍稀的矿产资源。研究区位于吉林省长春市城区东部，交通便利（图1），区内地形东南高西北低，除西北小部分为平原外，其他均为低山丘陵区，丘陵区以火成岩为主。

关键词：吉林省长春地区富集区偏硅酸地下水低山丘陵区化学成分微量元素

偏硅酸测试方法的研究进展及其快速检测试剂盒的研发现状

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光谱实验室 2012年第5期29卷 2676-2679页

作者：温小琴邓金花秦惠广东环凯微生物科技有限公司

介绍了目前国内外对水中偏硅酸的一些检测方法,并探讨了快速检验试剂盒在偏硅酸含量测试方面的应用。提出了快速检验试剂盒以其简单、快速、准确的优点将成为今后微量偏硅酸检验的研究热点。

关键词：偏硅酸快速检验试剂盒研究进展

阳离子交换树脂分离-电感耦合等离子体发射光谱(ICP-OES)法测定盐湖卤水中偏硅酸含量

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中国无机分析化学 2023年第8期13卷 857-862页

作者：王洋张露露王木荣徐红印张延芳中化地质矿山总局地质研究院北京100101 河北农业大学理学院河北保定071001 兰州交通大学化学化工学院兰州730000 青海盐湖工业股份有限公司青海格尔木816000

由于盐湖卤水中盐分浓度不同且盐度较高,采用常规分析方法很难准确测定。通过对阳离子交换树脂加入量、阳离子交换树脂交换时间、pH值对交换效率的影响、内标元素校正的考察,建立了阳离子交换树脂分离-电感耦合等离子体发射光谱法测定... 详细信息

由于盐湖卤水中盐分浓度不同且盐度较高,采用常规分析方法很难准确测定。通过对阳离子交换树脂加入量、阳离子交换树脂交换时间、pH值对交换效率的影响、内标元素校正的考察,建立了阳离子交换树脂分离-电感耦合等离子体发射光谱法测定盐湖卤水中偏硅酸含量的方法。将盐湖卤水稀释5倍,加入6 g阳离子交换树脂,静态交换1.5 h,除去卤水中的大量阳离子后,选择Si 251.611 nm为分析谱线,以Y 371.030 nm谱线作为内标进行信号漂移校正,用电感耦合等离子体发射光谱仪能有效测定卤水中偏硅酸的含量。结果表明,校准曲线的线性范围为0.50~200 mg/L,所得回归方程的线性关系良好(r≥0.9994),检出限为0.16 mg/L,结果相对标准偏差(RSD,n=12)为1.8%~4.6%,加标回收率为96.3%~102%。同时采用紫外-可见分光光度法对偏硅酸含量进行方法比对,两种测试结果不存在显著性差异,表明所建立的方法具有良好的准确度。为提高盐湖资源的综合利用提供了可靠的数据支撑。

关键词：阳离子交换树脂电感耦等离子体发射光谱仪盐湖卤水偏硅酸