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  • 1 篇 理学
    • 1 篇 数学

主题

  • 2 篇 体硅加工工艺
  • 2 篇 微加速度计
  • 1 篇 粘附
  • 1 篇 mems
  • 1 篇 表面牺牲层工艺
  • 1 篇 标准化工艺
  • 1 篇 冲击载荷
  • 1 篇 微机电系统
  • 1 篇 失效分析

机构

  • 1 篇 北京广播学院
  • 1 篇 香港科技大学
  • 1 篇 中国科学院力学研...

作者

  • 1 篇 张霞
  • 1 篇 王立森
  • 1 篇 胡宇群
  • 1 篇 赵亚溥
  • 1 篇 余同希
  • 1 篇 李志宏

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=体硅加工工艺"
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微加速度计在冲击载荷作用下的失效分析
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机械强度 2001年 第4期23卷 516-522页
作者： 王立森 胡宇群 李志宏 余同希 赵亚溥 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室 香港科技大学机械工程系
抗冲击性是加速度计的一个主要性能指标 ,跌落实验则是一种测试结构冲击作用的有效方式 ,本文利用跌落实验对一种折叠梁式微加速度计在冲击载荷作用下的失效模式进行了研究。实验发现在微加速度计中主要存在两种主要的失效模式 ,即微梁... 详细信息
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微机电系统与微加速度计
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引用
物理与工程 2004年 第1期14卷 18-21,25页
作者： 张霞 北京广播学院物理教研室 北京100024
本文简要介绍了具有高新技术特征的微机电系统 。
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