咨询与建议
  • 全部检索
  • 电子图书
  • 电子期刊
  • 纸本馆藏
  • 南通市公共图书馆
高级检索

限定检索结果

文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 光致发光
  • 1 篇 显微结构
  • 1 篇 纳米粒子
  • 1 篇 低温过程控制
  • 1 篇 纳米晶硅
  • 1 篇 多层薄膜

机构

  • 1 篇 河北大学
  • 1 篇 河北工程大学
  • 1 篇 华北理工大学

作者

  • 1 篇 赵蔚
  • 1 篇 张博惠
  • 1 篇 焦玉骁
  • 1 篇 李云
  • 1 篇 许贺菊
  • 1 篇 李晓苇
  • 1 篇 路万兵
  • 1 篇 于威
  • 1 篇 高东泽

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=低温过程控制"
共 1 条 记 录，以下是1-10 订阅
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到"检索档案"
详细 简洁
排序：
纳米晶硅多层薄膜的低温调控及其发光特性
收藏
分享
引用
化工进展 2018年 第4期37卷 1516-1521页
作者： 李云 高东泽 焦玉骁 张博惠 许贺菊 赵蔚 于威 路万兵 李晓苇 河北大学物理科学与技术学院 河北保定071000 华北理工大学理学院 河北唐山063009 河北工程大学数理学院 河北邯郸056038
采用单-双靶交替溅射法低温沉积了纳米晶硅多层薄膜(nc-SiO_x/a-SiO_x),通过改变a-SiO_x势垒层的厚度和化学成分比例,实现了纳米晶硅多层薄膜的低温过程控制。透射电子显微镜(TEM)结果显示,a-SiO_x层太薄,不能有效阻断纳米硅生长,导致... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到“检索档案”
共1页 <<  < 1 >  >>
回到顶部
执行限定条件