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文献类型

  • 2 篇 期刊文献

馆藏范围

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日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 1 篇 力学（可授工学、理...
    • 1 篇 动力工程及工程热...

主题

  • 2 篇 螺旋波等离子体
  • 2 篇 低场峰
  • 1 篇 耦合机制
  • 1 篇 双层结构
  • 1 篇 无电流双层结构
  • 1 篇 放电特性
  • 1 篇 模式跃迁
  • 1 篇 推进

机构

  • 2 篇 北京印刷学院

作者

  • 2 篇 张海宝
  • 2 篇 陈强
  • 1 篇 王陈文
  • 1 篇 尹贤轶
  • 1 篇 孙萌

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=低场峰"
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螺旋波等离子体放电特性研究进展
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力学学报 2023年 第12期55卷 2913-2927页
作者： 张海宝 尹贤轶 孙萌 陈强 北京印刷学院等离子体物理与材料实验室 北京102600
螺旋波等离子体是目前低温等离子体产生密度最高的等离子体源之一,在材料处理、薄膜沉积、宇航推进、磁约束聚变以及基础等离子体物理研究等领域都有很大的应用潜力.近年来国内外研究者普遍关注这种高密度等离子体源,一方面人们对螺旋... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
螺旋波等离子体研究进展
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真空科学与技术学报 2021年 第8期41卷 710-720页
作者： 王陈文 张海宝 陈强 北京印刷学院等离子体物理与材料实验室 北京102600
螺旋波等离子体为目前能产生最高等离子体密度的低温等离子体源之一,在低温等离子体应用领域中备受关注。螺旋波等离子体源具有电离效率高、电子密度高、约束磁场低、结构相对简单、可在极低气压下放电等优点,使其在集成电路工艺、薄膜... 详细信息
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