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  • 1 篇 理学
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主题

  • 2 篇 低压cvd
  • 1 篇 微结构
  • 1 篇 sic涂层
  • 1 篇 沉积速率
  • 1 篇 致密
  • 1 篇 蓝宝石
  • 1 篇 无机非金属材料
  • 1 篇 6h-sic薄膜

机构

  • 1 篇 北京新风航天装备...
  • 1 篇 微系统物理研究所
  • 1 篇 南京航空航天大学
  • 1 篇 中国科学技术大学
  • 1 篇 中南大学

作者

  • 1 篇 张杨
  • 1 篇 秦蓉蓉
  • 1 篇 毛帮笑
  • 1 篇 傅竹西
  • 1 篇 李斌斌
  • 1 篇 杨广任
  • 1 篇 郑海务
  • 1 篇 苏剑峰
  • 1 篇 吕海花
  • 1 篇 顾玉宗
  • 1 篇 夏细胜

语言

  • 2 篇 中文
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致密SiC涂层的低压cvd成型工艺研究
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中国陶瓷 2021年 第12期57卷 45-52页
作者： 毛帮笑 夏细胜 秦蓉蓉 杨广任 李斌斌 吕海花 北京新风航天装备有限公司 北京100854 中南大学机电工程学院 湖南长沙410083 南京航空航天大学材料科学与技术学院 南京211106
为了改善碳材料的抗氧化性能,同时促进SiC涂层的工程化应用,本文采用低压cvd工艺沉积SiC涂层,研究致密SiC涂层的成型工艺。同时,对SiC涂层的沉积速率进行研究。实验结果表明:最佳的cvd沉积温度为1100℃,低温度促进SiC的定向生长,高温度... 详细信息
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C面蓝宝石衬底上6H-SiC薄膜的低压化学气相外延生长与表征
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材料研究学报 2008年 第1期22卷 37-41页
作者： 郑海务 苏剑峰 顾玉宗 张杨 傅竹西 微系统物理研究所 河南大学物理与电子学院开封475001 中国科学技术大学物理系 合肥230026
采用低压化学气相沉积方法在C面蓝宝石衬底上异质外延生长出高结晶质量和良好表面形貌的6H-SiC薄膜,研究了C_3H_8气体流速对薄膜结晶质量的影响.随着C_3H_8气体流速的降低,薄膜的结晶质量先增加后降低,表明薄膜的生长在开始阶段受表面... 详细信息
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