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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 氢化非晶硅薄膜
  • 1 篇 摇摆模
  • 1 篇 伸缩模
  • 1 篇 红外透射谱
  • 1 篇 基线拟合
  • 1 篇 氢含量

机构

  • 1 篇 北京工业大学

作者

  • 1 篇 吴越颖
  • 1 篇 王青
  • 1 篇 胡跃辉
  • 1 篇 陈光华
  • 1 篇 高卓
  • 1 篇 邓金祥
  • 1 篇 阴生毅
  • 1 篇 宋雪梅

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=伸缩模"
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氢化非晶硅薄膜红外透射谱与氢含量
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中国科学（G辑） 2004年 第3期34卷 279-289页
作者： 胡跃辉 陈光华 吴越颖 阴生毅 高卓 王青 宋雪梅 邓金祥 北京工业大学材料学院 北京100022
研究了用氢化非晶硅薄膜红外透射谱的摇摆模和伸缩模计算氢含量的两种方法，分析了这两种方法在计算薄膜氢含量时引起差别的原因．理论推导及实验结果表明，若将SiH2和(SiH2)。含量大小用结构因子F=(I840+I880)I2000来表示，则在F值较... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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