检索结果-南通市图书馆

作者：葛婕清华大学

学位级别：硕士

随着半导体工艺的发展，刻蚀和沉积的腔室条件复杂性增加，特别是等离子参与的工艺过程。国内目前对于工艺流程的设计和设备制造这样一个复杂的过程，大多基于经验来调试，这种方法使得开发周期长、调试成本增加。只有首先对刻蚀沉积过... 详细信息

随着半导体工艺的发展，刻蚀和沉积的腔室条件复杂性增加，特别是等离子参与的工艺过程。国内目前对于工艺流程的设计和设备制造这样一个复杂的过程，大多基于经验来调试，这种方法使得开发周期长、调试成本增加。只有首先对刻蚀沉积过程进行理论分析，然后进行计算机仿真模拟工艺过程，最后通过实验来证实工艺结果的方法，来对刻蚀和沉积的机理进行深入理解。在此基础上，通过优化腔室反应工艺参数对工艺过程进行优化，从而对工艺腔室的制造提供参考。同时，可以将工艺过程反应原理应用到IC器件的制造过程中，优化反应条件，提高器件性能。对于工艺反应过程的理论研究，分为腔室内过程和表面过程。腔室内过程论文采用分子动力学的方法，解反应粒子的质量守恒方程、动量守恒方程和热平衡方程，得到腔室的反应过程。表面过程论文采用水平集方法，计算水平集函数得到反应物质界面随时间的演化过程。对于仿真模拟过程，论文采用CFD-ACE+商业软件包进行模拟，在CFD-ACE和CFD-TOPO模块中设置腔室和表面反应化学方程和参数，两个模块耦合使用对刻蚀和沉积工艺过程进行模型。对于实验验证部分，论文设计和不同基底和尺度的刻蚀和沉积工艺流程，并用多种测试方法对结果进行分析，同时提取实验参数指导工艺流程的优化。刻蚀工艺的仿真和实验，论文主要研究了硅基底和氧化硅基底，采用ICP刻蚀方法。硅基底的刻蚀建模，使用Cl2/Ar刻蚀气体。在使用基本反应条件的基础上，改变腔室的反应条件参数，进而影响流向基底表面的中性粒子和总离子的流量。同时，论文对侧壁倾斜和底部微槽的现象进行分析，发现刻蚀副产物在侧壁的沉积、离子的能量和角度分布等因素对刻蚀形貌有显著的影响。氧化硅基底的刻蚀建模，使用CHF3/H2刻蚀气体。研究腔室和表面的化学反应机理，改变刻蚀深宽比和到达硅片表面的分子和离子流量比，发现刻蚀表面聚合物发生变化并最终导致刻蚀形貌的不同。最后将刻蚀机理应用到RRAM的制造中，发现流量比对关键尺寸有较大影响，并且找到最优的过刻蚀时间，优化器件性能。沉积工艺的仿真和实验，论文主要研究了氧化硅薄膜的沉积，采用PECVD方法。模拟过程分析了腔室和表面反应机理，调节腔室功率和反应气体流量比，得到不同的台阶覆盖性能。实验过程进行了平面沉积和填槽沉积，采用SEM、AFM、FTIR、XPS等测试方法对薄膜性能进行表征，发现腔室条件改变会影响薄膜的物理化学性质，对提高薄膜性能提供参考。

关键词：刻蚀和沉积工艺仿真和实验硅刻蚀氧化硅刻蚀氧化硅沉积

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格林函数解卷积处理的阵不变量浅海无源定位

声学学报 2022年第1期47卷 45-52页

作者：王宇杰迟骋李宇黄海宁中国科学院声学研究所北京100190 中国科学院先进水下信息技术重点实验室北京100190 中国科学院大学北京100190

水下声源无源定位是声呐技术重要的研究方向。针对水下声源无源定位问题,本文提出了一种基于格林函数解卷积处理的阵不变量无源定位方法。该方法使用盲解卷积算法从水平阵接收信号中提取时域格林函数,然后采用空域解卷积方法处理得到的... 详细信息

水下声源无源定位是声呐技术重要的研究方向。针对水下声源无源定位问题,本文提出了一种基于格林函数解卷积处理的阵不变量无源定位方法。该方法使用盲解卷积算法从水平阵接收信号中提取时域格林函数,然后采用空域解卷积方法处理得到的时域格林函数,获得波束时间偏移,从波束时间偏移中计算得到阵不变量,解算目标距离,从而实现声源定位。区别于常规阵不变量方法,该方法可以得到更精确的波束时间偏移,从而提升了声源定位精度。仿真和实验数据结果表明,在小孔径水平阵情况下,基于格林函数解卷积处理的阵不变量浅海无源定位方法相较于常规时域处理方法的距离估计精度提高近 40%。

关键词：无源定位声源定位盲解卷积时域处理水下声源时间偏移目标距离仿真和实验

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基于后置处理技术的五轴机床非线性误差补偿

制造业自动化 2023年第8期45卷 63-67页

作者：张南媚王玉涛唐清春安徽文达信息工程学院安徽230032 东华大学机械工程学院 201620 广西科技大学工程训练中心广西柳州545006

五轴机床在加工复杂曲面方面具有无与伦比的优势,虽然旋转轴的增加使刀具可灵活运动,但也导致刀具偏离了规划的理想轨迹,从而引发非线性误差。提出了基于后置处理技术的五轴机床非线性误差补偿方法。首先,分析了五轴机床非线性误差产生... 详细信息

五轴机床在加工复杂曲面方面具有无与伦比的优势,虽然旋转轴的增加使刀具可灵活运动,但也导致刀具偏离了规划的理想轨迹,从而引发非线性误差。提出了基于后置处理技术的五轴机床非线性误差补偿方法。首先,分析了五轴机床非线性误差产生机理;其次,采用谐波函数模拟非线性误差值并对其建立补偿机理;最后采用高级语言Java开发专用后置处理器,并以某透平叶片为试件进行仿真和实验,结果表明该方法可以有效的提高零件表面质量。

关键词：复杂曲面非线性误差谐波函数仿真和实验

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磁流体动力学陀螺仪的结构设计与实验研究

仪器仪表学报 2015年第2期36卷 394-400页

作者：徐梦洁李醒飞吴腾飞陈诚于翔天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 天津商业大学机械工程学院天津300134

磁流体动力学陀螺仪不存在传统陀螺仪的机械磨损和光学陀螺仪寿命易受光学器件制约的缺点,因而具有高精度、宽频带、长寿命的特点,此外还具有抗冲击、体积小、重量轻等综合性能。该传感器不但在惯性导航中表现优异,同时在卫星微角振动... 详细信息

磁流体动力学陀螺仪不存在传统陀螺仪的机械磨损和光学陀螺仪寿命易受光学器件制约的缺点,因而具有高精度、宽频带、长寿命的特点,此外还具有抗冲击、体积小、重量轻等综合性能。该传感器不但在惯性导航中表现优异,同时在卫星微角振动测量及寻北等领域也具有广阔的应用前景。通过对磁流体动力学陀螺仪基本工作原理进行简要分析,对简化模型进行了推导,并提出一种磁流体动力学陀螺仪的结构设计方法;对磁路进行仿真,获得工作间隙处磁感应强度分布,并代入磁流体仿真环节;对流动进行仿真,同时对样机进行标定实验,可得出标定过程的仿真与实验间差值的平方和均值的开方为5.69 m V,非线性度为0.6%,表明通过研究导电流体的流动过程进而分析该陀螺仪的性能是十分必要的,并证明了磁流体动力学陀螺仪具有良好的发展前景。

关键词：磁流体动力学结构设计仿真和实验

基于比例-模糊积分控制算法的智能温控器优化与仿真

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中国机械工程 2017年第1期28卷 57-61,81页

作者：王姝歆张辉陈国平王宏涛刘润南京航空航天大学机电学院南京210016 南京航空航天大学能源与动力学院南京210016

针对室内温度系统具有大时滞性、大惯性等特点,传统的控制方法效果不甚理想,提出了一种比例-模糊积分的复合控制策略,以提高碳纤维电地暖系统中智能温控器的控制性能。阐述了比例-模糊积分控制器的工作原理,并对基于模糊控制算法和PID... 详细信息

针对室内温度系统具有大时滞性、大惯性等特点,传统的控制方法效果不甚理想,提出了一种比例-模糊积分的复合控制策略,以提高碳纤维电地暖系统中智能温控器的控制性能。阐述了比例-模糊积分控制器的工作原理,并对基于模糊控制算法和PID控制算法相结合的控制算法进行了详细设计。MATLAB仿真和实验结果表明:与基于开关式控制、PID控制和模糊控制算法的智能温控器相比,基于比例-模糊积分控制算法的智能温控器所需调节时间短,能有效抑制超调,具有良好的动静态特性和鲁棒性,显著改善了控制效果。

关键词：碳纤维电地暖智能温控器比例-模糊积分控制仿真和实验

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相间耦合电抗器的移相机理及其应用

电力自动化设备 2011年第5期31卷 84-89页

作者：孔宁尹忠东杨坡高洋崔若晨华北电力大学电力系统保护与动态安全监控教育部重点实验室北京102206

研究了一种具有特殊结构的相间耦合电抗器,它可以迫使其输出电流产生一定角度的相移。对相间耦合电抗器的移相机理进行了深入研究,确定了针对特定移相角的电抗器的绕组匝数,并推导出了移相电抗器的输出电压和等效输入阻抗的表达式。对... 详细信息

研究了一种具有特殊结构的相间耦合电抗器,它可以迫使其输出电流产生一定角度的相移。对相间耦合电抗器的移相机理进行了深入研究,确定了针对特定移相角的电抗器的绕组匝数,并推导出了移相电抗器的输出电压和等效输入阻抗的表达式。对相间耦合电抗器在多脉动整流系统中的应用进行了介绍,指出通过选择合适的移相角可用于构成多脉动的整流系统,以代替移相变压器,并且能够达到相同的谐波抑制效果。对相间耦合电抗器的移相机理进行了仿真验证,结果证实了理论分析的正确性。还分别对由相间耦合电抗器构成的12脉动和24脉动整流器进行了仿真和实验研究,结果表明它的确能达到与移相变压器相同的谐波抑制效果。

关键词：相间耦合电抗器移相机理多脉动整流器谐波抑制仿真和实验

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一种机器人单关节伺服系统的能耗研究

制造技术与机床 2017年第9期 84-90页

作者：贺莹梅江平方志炜谢胜龙孙玉德天津大学机械工程学院天津300072 天津大学仁爱学院机械工程系天津301636

以伺服电动机和减速机为主体的机器人单关节伺服系统为研究对象,在实验和仿真的基础上,对该关节系统的摩擦模型、动力学模型以及能耗模型的建模方法以及模型的特性进行了研究。首先,将该单关节系统分解成由高速轴和低速轴构成的抽象模型... 详细信息

以伺服电动机和减速机为主体的机器人单关节伺服系统为研究对象,在实验和仿真的基础上,对该关节系统的摩擦模型、动力学模型以及能耗模型的建模方法以及模型的特性进行了研究。首先,将该单关节系统分解成由高速轴和低速轴构成的抽象模型,基于Lu Gre摩擦模型和lagrange方程法分别建立高速轴和低速轴的动力学模型。在实验的基础上,利用最小二乘法和频响法对Lu Gre摩擦模型的静态参数和动态参数进行辨识。为了降低参数辨识的难度,根据高速轴和低速轴摩擦环境的近似性,建立了单关节系统简化摩擦模型。通过仿真和实验的对比分析,结果表明:建立的摩擦模型能够很好地反映该系统的摩擦行为。建立了考虑摩擦和电动机热损耗因素的能耗模型。通过实验和仿真分析,该动力学模型和能耗模型能够准确地反映关节伺服系统的力矩行为和能耗行为,从而为后续建立机器人多关节伺服系统的能耗模型和能耗优化控制提供理论基础。

关键词： LuGre模型摩擦参数辨识能耗模型仿真和实验