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主题

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  • 1 篇 埃德林公式
  • 1 篇 分辨率
  • 1 篇 激光干涉仪
  • 1 篇 改进型edlen公式
  • 1 篇 磨削
  • 1 篇 微位移测量
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  • 1 篇 精密磨削
  • 1 篇 传感器
  • 1 篇 塑性状态

机构

  • 2 篇 沈阳建筑大学
  • 1 篇 dept.of system e...

作者

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  • 1 篇 l.chouanine
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分辨率为亚纳米级的光电位移传感器
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测控技术 1989年 第2期8卷 47-48,39页
作者： N.Ikawa S.Shimada H.Morooka 臧新村
本文提出一种用于超精密技术、分辨率为亚纳米级的起精密位移传感器的设计。当目标表面产生微小位移时、能以很高的灵敏度检测出目标表面反射光中某特走点的光强的变化是这种传感器的基础。传感器由单光源、反射体与基准表面、用于传输... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
塑性状态下光学及电子镜面的亚纳米级精密磨削
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国防科技参考 1997年 第3期18卷 94-98页
作者： L.Chouanine H.Eda M.li 雍玲 Dept.of System Engineering Facuhy of Engineeringlbaraki UniversityJapan
本文讲述了由PC机控制的多用途超精机床(MPUMT)的设计及光学镜平滑表面的加工。已研制出的机床可用于磨削、切削、研磨或抛光塑性状态下的硬脆材料。作为建立新的加工系统的关键部分,采用了大型磁致伸缩调节器(GMA),在没有放大器元件的... 详细信息
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基于激光干涉仪的微位移测量系统研究
基于激光干涉仪的微位移测量系统研究
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作者： 胡高山 沈阳建筑大学
学位级别：硕士
激光干涉仪测量技术是实现精密/超精密测量的一门综合技术。对于单频激光干涉仪而言,在进行纳米/亚纳米级位移数据采集时,由于测量环境中的空气温度、空气压强、空气湿度等因素干扰的存在,都会极大的影响激光干涉仪采集到的数据的准度... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
单频激光干涉仪采样系统设计
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科技广场 2013年 第9期 35-38页
作者： 胡高山 林淞 沈阳建筑大学信息与控制工程学院 辽宁沈阳110168
为了解决在纳米级,甚至亚纳米级高精度位移测量时,激光干涉仪测量数据读数精度不高的问题,本文将改进型的Edlen公式引进到激光干涉仪软件程序中,提高激光干涉仪的读数准度,并且扩大其工作范围。改进型Edlen公式的使用和对程序的改写,使... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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