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主题

  • 1 篇 互连体系
  • 1 篇 铜扩散
  • 1 篇 钽
  • 1 篇 氮化硅
  • 1 篇 扩散阻挡层

机构

  • 1 篇 长江存储科技有限...
  • 1 篇 天津大学

作者

  • 1 篇 傅晓娟
  • 1 篇 刘峻
  • 1 篇 宋凯悦
  • 1 篇 赵毅强

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=互连体系"
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铜互连扩散阻挡层工艺优化
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北京航空航天大学学报 2020年 第8期46卷 1514-1520页
作者： 傅晓娟 赵毅强 刘峻 宋凯悦 天津大学微电子学院 天津市成像与感知微电子技术重点实验室天津300072 长江存储科技有限责任公司 武汉430205
针对金属线间击穿电压小、可靠性差的问题,对铜扩散阻挡层(包括钽阻挡层厚度和氮化硅阻挡层薄膜质量)进行研究优化。使用自对准双重图形(SADP)方法能够使金属互连线的特征尺寸缩小,使得互连线扩散阻挡层的厚度期望降低。通过制备不同厚... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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