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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 生长算法
  • 1 篇 相移显微干涉术
  • 1 篇 微结构
  • 1 篇 二维结构模板
  • 1 篇 三维形貌测量

机构

  • 1 篇 天津大学

作者

  • 1 篇 胡春光
  • 1 篇 胡小唐
  • 1 篇 徐临燕
  • 1 篇 郭彤
  • 1 篇 胡晓东

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=二维结构模板"
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复杂微结构三维形貌测量方法的研究
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光电子．激光 2006年 第1期17卷 98-101页
作者： 胡春光 胡晓东 徐临燕 郭彤 胡小唐 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072
微结构三维形貌测量是研究微加工工艺和微尺寸特性的重要测试内容。本文提出一种基于相移显微干涉术、利用干涉图建立二维结构模板指导相位展开的新方法,它不仅适用于静态测量,而且能应用于在动态测量中,特别是微机电系统(MEMS)器件的... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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