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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 电气工程

主题

  • 1 篇 永磁同步平面电机
  • 1 篇 光刻机
  • 1 篇 二维平面定位装置
  • 1 篇 发展趋势

机构

  • 1 篇 哈尔滨工业大学

作者

  • 1 篇 李立毅
  • 1 篇 张赫
  • 1 篇 邢丰
  • 1 篇 寇宝泉
  • 1 篇 张鲁

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=二维平面定位装置"
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高性能永磁同步平面电机及其关键技术发展综述
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中国电机工程学报 2013年 第9期33卷 79-87页
作者： 寇宝泉 张鲁 邢丰 李立毅 张赫 哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院 黑龙江省哈尔滨市150001
永磁同步平面电机具有直接驱动、出力密度高、低热耗、高精度等特点,在现代精密、超精密加工装备,特别是在极紫外光刻机中具有广阔的应用前景。根据永磁阵列和线圈阵列的结构形式将永磁同步平面电机划分为组合式、半组合式、绕组层叠式... 详细信息
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