检索结果-南通市图书馆

半导体技术 2021年第12期46卷 969-973页

作者：陈威王河党景涛中国电子科技集团公司第四十五研究所北京100176

通过实验优化了方形基片喷雾涂胶工艺。以AZ6130光刻胶作为研究对象,实验过程中在改变胶液体积流量和氮气压力条件下,采用二流体喷头对方形基片进行喷涂,使用显微镜和粗糙度轮廓仪观察并测量其表面形貌。实验结果表明:在不改变其他实验... 详细信息

通过实验优化了方形基片喷雾涂胶工艺。以AZ6130光刻胶作为研究对象,实验过程中在改变胶液体积流量和氮气压力条件下,采用二流体喷头对方形基片进行喷涂,使用显微镜和粗糙度轮廓仪观察并测量其表面形貌。实验结果表明:在不改变其他实验条件下,氮气压力为0.03 MPa时,随着胶液体积流量从0.6 mL/min增加至2.2 mL/min,胶膜厚度从5.3μm增加至19.0μm,膜厚均匀性从3.5%增加至22.6%;胶液体积流量为1.0 mL/min时,随着氮气压力从0.01 MPa增加至0.09 MPa,胶膜厚度从6.5μm降低至4.7μm,膜厚均匀性从3.6%增加至15.6%。通过对实验基片的观察、测量与分析,得到方形基片制备过程中最优喷涂工艺为胶液体积流量1.0 mL/min,氮气压力0.03 MPa。

关键词：方形基片喷涂工艺二流体喷头胶膜厚度膜厚均匀性

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最新的二流体加湿降温喷头

引用

毛纺科技 1995年第6期23卷 48-51页

作者：陈仲昌

向广大读者推荐一种全新的二流体加湿降温喷头。对二流体加湿降温喷头喷雾加湿的作用原理，优点作了扼要的陈述，并与摇头喷雾加湿、中央空调加湿作了对比；为毛纺、化纤、丝织、针织、棉纺等行业提供一种改进型国产加湿降温喷头，对改... 详细信息

向广大读者推荐一种全新的二流体加湿降温喷头。对二流体加湿降温喷头喷雾加湿的作用原理，优点作了扼要的陈述，并与摇头喷雾加湿、中央空调加湿作了对比；为毛纺、化纤、丝织、针织、棉纺等行业提供一种改进型国产加湿降温喷头，对改善企业的生产环境，提高产质量、节能降耗、降低运行费用、降低成本都具有重要意义。

关键词：纺织厂空气调节二流体喷头喷雾加湿降温

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