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电导率调控介孔二氧化硅增透膜透过性能的研究

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无机盐工业 2022年第8期54卷 80-84页

作者：张宇祁晓玉冯梦瑶孙楠楠赵翠莲河北水利电力学院基础部河北沧州061000 河北水利电力学院交通工程系

以正硅酸乙酯(TEOS)为前驱体,三嵌段共聚物(F127)为模板剂,利用酸催化的形式通过溶胶-凝胶法制备介孔二氧化硅增透膜液。采用浸渍提拉法在硼硅玻璃基片上进行镀膜,利用马弗炉对膜层进行固化处理。采用紫外可见分光光度计、电导率仪对膜... 详细信息

以正硅酸乙酯(TEOS)为前驱体,三嵌段共聚物(F127)为模板剂,利用酸催化的形式通过溶胶-凝胶法制备介孔二氧化硅增透膜液。采用浸渍提拉法在硼硅玻璃基片上进行镀膜,利用马弗炉对膜层进行固化处理。采用紫外可见分光光度计、电导率仪对膜的透过性能及膜液的电学性能进行分析。结果表明,溶剂在6个月的长期挥发下会导致膜液电导率由243μS/cm增大到266μS/cm,相同的提拉速度会使得膜层变厚,透过率峰值出现“红移”现象,300~2500 nm的平均透光率由96.7%降为96.0%。通过对实验所得数据进行拟合可知,膜液电导率与二氧化硅浓度成简单的线性关系,与最优提拉速度成单指数函数关系,使用膜液电导率对标稀释的方法可使所镀膜层透过率得到恢复,能在不影响生产效率的前提下保证膜层产品的一致性。

关键词：二氧化硅增透膜溶剂挥发溶胶-凝胶法电导率

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水氨或/和六甲基二硅氮烷表面处理碱催化二氧化硅增透膜结果的对比研究

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光子学报 2013年第7期42卷 823-827页

作者：霍艳芳罗荣辉苏永钢郑州大学物理工程学院郑州450001

针对溶胶-凝胶法制备的1/4波长二氧化硅增透膜耐环境性差的缺点,对其进行了水氨或/和六甲基二硅氮烷的表面处理,并对单一气氛处理和两种气氛联合处理后的膜层性质进行了对比研究.展现了膜层经各项表面处理后物理性质和微观结构的变化,... 详细信息

针对溶胶-凝胶法制备的1/4波长二氧化硅增透膜耐环境性差的缺点,对其进行了水氨或/和六甲基二硅氮烷的表面处理,并对单一气氛处理和两种气氛联合处理后的膜层性质进行了对比研究.展现了膜层经各项表面处理后物理性质和微观结构的变化,以及两种气氛联合处理时因处理顺序不同而引起的最终结果的差异.研究表明:水氨蒸汽处理促进了膜层粒子间表面羟基的交联,膜层较处理前厚度降低,但耐摩擦性增强,光学透过率基本保持不变;硅氮烷蒸汽处理向膜层引入了甲基,膜层极性较低,粒子间作用力因此降低,耐摩擦性下降,但疏水性得到良好的改善;先水氨后硅氮烷蒸汽处理时,水氨蒸汽的前处理在提高膜层耐摩擦的同时降低了表面羟基的数量,使后续硅氮烷处理时强度降低,故两步处理后膜层保持了较好的耐摩擦性和一定的疏水性;而先硅氮烷后水氨蒸汽处理时,硅氮烷蒸汽的前处理明显改善了膜层的疏水性,却因膜层表面羟基减少、间距增大而降低了水氨蒸汽的处理强度,耐摩擦性虽有较大提高,但稍弱于单一水氨蒸汽处理时的耐摩擦性.

关键词：薄膜光学溶胶-凝胶法二氧化硅增透膜表面处理水氨六甲基二硅氮烷

溶胶凝胶法制备大尺寸光学元件二氧化硅增透膜

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量子电子学报 1998年第6期 617-617页

作者：张伟清唐永兴乐月琴刘晓林蒋敏华孙今人 201800 中国科学院上海光学精密机械研究所!上海上海激光等离子体研究所

含氢硅油表面改性SiO_2疏水增透膜的制备及其表征

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硅酸盐学报 2017年第1期45卷 150-156页

作者：孙盈盈胡星宇林海张慧君杨文斌张欣向福建农林大学材料工程学院福州350002

采用含氢硅油(poly(methylhydrogen)siloxane,PMHS)对溶胶-凝胶法制备的SiO_2增透膜进行表面修饰,以提高其疏水性能。采用含氢量分别为0.2%、1.0%和1.5%的PMHS,研究改性剂溶液中PMHS含量对增透膜性质的影响。结果表明:经含氢量为0.2%的P... 详细信息

采用含氢硅油(poly(methylhydrogen)siloxane,PMHS)对溶胶-凝胶法制备的SiO_2增透膜进行表面修饰,以提高其疏水性能。采用含氢量分别为0.2%、1.0%和1.5%的PMHS,研究改性剂溶液中PMHS含量对增透膜性质的影响。结果表明:经含氢量为0.2%的PMHS改性后的SiO_2增透膜仍能保持99.50%以上的透过率;而经含氢量为1.0%和1.5%的PMHS改性的增透膜的透过率下降显著。0.2%PMHS改性的增透膜的显微结构与未改性的相似,而1.5%PMHS改性的增透膜孔隙数目明显减少。经含氢量为0.2%、1.0%和1.5%的PMHS改性的增透膜的疏水性能得到明显地提高。Fourier红外光谱表明,与未改性SiO_2增透膜相比,改性SiO_2增透膜在1 257和796 cm^(-1)处出现归属于Si—CH_3的吸收峰,说明PMHS疏水链被成功接枝至SiO_2增透膜表面。

关键词：溶胶-凝胶法二氧化硅增透膜疏水含氢硅油

水含量对溶胶-凝胶SiO_(2)增透膜结构和性能的影响

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光子学报 2000年第11期29卷 1035-1039页

作者：刘小林张伟清梁培辉上海铁道大学基础部上海200331 中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800

利用正硅酸乙脂 (TEOS)的碱催化 ,溶胶 -凝胶法制备多孔 Si O2 增透膜 .较详细地研究了工艺参量 H2 O/ TEOS摩尔比对薄膜结构和性能的影响 .结果表明 ,随 H2 O/ TEOS摩尔比的增大 ,薄膜厚度、折射率和致密度减小 ;而薄膜透射率增大 .

关键词：溶胶-凝胶工艺二氧化硅增透膜薄膜水含量

MOCVD法制备BZO-TCO的工艺与性能及其在太阳电池中的应用研究

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MOCVD法制备BZO-TCO的工艺与性能及其在太阳电池中的应用研究

作者：王宁河北工业大学

学位级别：硕士

透明导电氧化物(TCO)薄膜是硅基太阳电池的重要组成部分,硼掺杂的ZnO(ZnO:B,BZO)透明导电氧化物薄膜凭借良好的电学性能和较好的“陷光”能力,成为目前研究的热点。因此,制备出高质量的BZO薄膜对提高太阳电池的性能具有重要意义。本文... 详细信息

透明导电氧化物(TCO)薄膜是硅基太阳电池的重要组成部分,硼掺杂的ZnO(ZnO:B,BZO)透明导电氧化物薄膜凭借良好的电学性能和较好的“陷光”能力,成为目前研究的热点。因此,制备出高质量的BZO薄膜对提高太阳电池的性能具有重要意义。本文采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术沉积性能良好的BZO薄膜,并将其应用于异质结(SHJ)太阳电池和p-i-n型单结非晶硅(a-Si:H)薄膜太阳电池。获得的主要研究结果如下:(1)利用MOCVD技术在玻璃衬底上沉积了BZO薄膜,研究了掺杂流量和沉积时间对BZO薄膜结构、形貌和光电性能的影响,找到了制备光电性能良好且表面形貌为“金字塔”状的BZO薄膜的优化工艺。(2)在TMAH湿法制绒的硅衬底上沉积了BZO薄膜,构成SHJ电池的新型衬底。结果表明,BZO薄膜的加入降低了衬底的光学反射率,提高了衬底对近红外波段入射光的光吸收能力。将优化工艺条件下制备的光电性能良好的新型衬底作为SHJ电池的背电极,发现SHJ电池对近红外波段入射光的光响应能力提高,电池的外部量子效率(EQE)提高了11%。(3)将BZO薄膜与SiO2增透膜结合,构成SiO2增透膜/玻璃/BZO新型结构并作为前电极应用于p-i-n型单结a-Si:H电池。结果表明,SiO2增透膜呈现非晶结构,表面主要由团聚状的颗粒构成,光学折射率系数为1.28,最高的光学透过率为95.5%;SiO2增透膜通过干涉消光作用降低了增透膜/空气界面之间的光反射损失,提高了新型结构的光学透过率和“陷光”能力。相比于传统结构的前电极,电池的EQE提高了4%,转换效率(η)提高了4%,达到10.24%。

关键词：金属有机物化学气相沉积硼掺杂氧化锌二氧化硅增透膜薄膜太阳电池外部量子效率

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光学薄膜参数测试

中国光学 1999年第3期13卷 56-57页

O484.5 99031790多孔二氧化硅增透膜涂膜溶液的改性研究=Researchon modified for coating solution of porous SiO2reflection reducing films[刊,中]/孙今人,张伟清, 唐永兴,刘晓林,乐月琴,陈知亚（中科院上海光机所国家高功率激光物... 详细信息

关键词：二氧化硅增透膜激光物理改性研究高功率结构缺陷光学薄膜实验室中科院聚硅氧烷参数测试

紫外到近红外波段大功率激光器用硬质高抗损伤宽带增透膜

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激光与红外 1987年第7期 51-53页

作者： K.Yoshida 王遵信王尚铎

研究了一种在各种基体材料（包括熔融石英和光学玻璃）上制备增透膜的新工艺。这种薄膜镀于熔融石英上,在355nm处损伤阈大于6J/cm。由于它波带很宽,机械强度好,不仅能用于大功率激光器,也适用于光通讯等。大功率激光器的研制需要抗损伤... 详细信息

研究了一种在各种基体材料（包括熔融石英和光学玻璃）上制备增透膜的新工艺。这种薄膜镀于熔融石英上,在355nm处损伤阈大于6J/cm。由于它波带很宽,机械强度好,不仅能用于大功率激光器,也适用于光通讯等。大功率激光器的研制需要抗损伤的增透表面。目前,多层介质增透膜对于脉冲激光器,特别是在短波段,没有足够的损伤阈。用中性溶液法在抛光的硼硅酸冕牌玻璃BK-7上制备的递变折射率增透表面,在激光波长为1064nm、脉冲宽度（T）为1ns时,损伤阈是12

关键词：二氧化硅增透膜光学玻璃光学材料多孔材料多孔介质激光波长大功率激光器变折射率熔石英熔融石英抗损伤硬质

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薄膜光学薄膜光学理论与膜系设计

中国光学 2007年第6期2卷 52-53页