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  • 1 篇 工学
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    • 1 篇 电气工程
    • 1 篇 控制科学与工程

主题

  • 1 篇 电共轭流体
  • 1 篇 三角柱-缝隙电极对...
  • 1 篇 微型泵
  • 1 篇 mems

机构

  • 1 篇 东京工业大学
  • 1 篇 西南交通大学

作者

  • 1 篇 王海波
  • 1 篇 邹海龙
  • 1 篇 张如照
  • 1 篇 金俊完

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=三角柱-缝隙电极对"
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电共轭流体微型泵的实验研究(英文)
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强激光与粒子束 2015年 第2期27卷 151-154页
作者： 王海波 张如照 邹海龙 金俊完 西南交通大学机械工程学院 成都610031 东京工业大学精密工学研究所
为了解决MEMS技术制备具有超厚、高深宽比电极结构的射流发生器中三角柱电极尖端部分出现的弧形缺陷以及脱模时缝隙电极易脱落等问题,提高射流发生器的制作质量以及电共轭流体微型泵的输出性能。结合理论分析与反复试验提出了一系列改... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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