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主题

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  • 1 篇 阳极键合设备
  • 1 篇 mems
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  • 1 篇 气密封装
  • 1 篇 阳极键合
  • 1 篇 si3n4薄膜
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  • 1 篇 热应力
  • 1 篇 仿真

机构

  • 1 篇 华中科技大学
  • 1 篇 内蒙古动力机械研...
  • 1 篇 中北大学
  • 1 篇 厦门大学

作者

  • 1 篇 林智鑫
  • 1 篇 郭航
  • 1 篇 刘鑫
  • 1 篇 梁庭
  • 1 篇 曾毅波
  • 1 篇 王天靖
  • 1 篇 刘琦
  • 1 篇 陈国锋
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  • 1 篇 王丙寅
  • 1 篇 王盛贵

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  • 3 篇 中文
检索条件"主题词=三层键合"
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带有Si_3N_4薄膜的玻璃-硅-玻璃三层结构的阳极键合
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传感器与微系统 2013年 第8期32卷 63-66,70页
作者： 林智鑫 王盛贵 刘琦 曾毅波 郭航 厦门大学物理与机电工程学院 福建厦门361005 厦门大学萨本栋微米纳米技术研究院 福建厦门361005
为了获得高品质的带有Si3N4薄膜三层(玻璃—硅—玻璃)的阳极键合结构,对阳极键合的相关工艺参数进行了研究;设计搭建了实验平台并采用点阴极,以实时观察键合界面是否达到同形质的黑色从而判断阳极键合质量,对键合后的样品进行拉力测试,... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
低热零点漂移的高温绝压压力传感器
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仪表技术与传感器 2023年 第2期 8-11,33页
作者： 王天靖 梁庭 雷程 王丙寅 陈国锋 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 内蒙古动力机械研究所 内蒙古呼和浩特010000
传统的高温绝压压力传感器一般采用硅和玻璃进行阳极键合来制备绝压腔。由于高温环境下硅片和硼硅玻璃的热膨胀系数不匹配,从而产生较高的热零点漂移。文中提出了一种低热零点漂移的压力传感器设计方案,由硅-玻璃-硅的三层结构代替普通... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
原子钟碱金属蒸汽腔制作设备研制与工艺研究
原子钟碱金属蒸汽腔制作设备研制与工艺研究
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作者： 刘鑫 华中科技大学
学位级别：硕士
原子钟是通过原子基态的超精细能级间的跃迁辐射频率来实现精确计时的工具。基于CPT(Coherent Population Trapping)现象的微型原子钟是原子钟微型化发展的必然趋势,而其中的核心芯片碱金属蒸汽腔的微型化制造对原子钟的微型化起着关键... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
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