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文献类型

  • 2 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 2 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 2 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 控制科学与工程

主题

  • 2 篇 一体型平行弹簧
  • 1 篇 动态特性
  • 1 篇 位置控制
  • 1 篇 扫描隧道显微镜
  • 1 篇 驱动部分
  • 1 篇 位移特性
  • 1 篇 结构设计
  • 1 篇 结构模型
  • 1 篇 转动分量
  • 1 篇 微动机构
  • 1 篇 探针扫描

机构

  • 2 篇 长春光学精密机械...

作者

  • 2 篇 张海成

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=一体型平行弹簧"
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一体型平行弹簧扫描隧道显微镜
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光学学报 1995年 第7期15卷 917-922页
作者： 张海成 长春光学精密机械学院光电工程系
描述了一种新结构形式的扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）系统。该系统使用一体型平行弹簧和压电致动元件（ＰＺＴ）作为精密二维位置控制器件，使得ｘ轴和ｙ轴间的位移干扰变得极其微小。控制ｚ轴位移及试件与探针间距的压电致动元件是以悬挂... 详细信息
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平行弹簧和PZT组合的钠米结构研究
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仪器仪表学报 1995年 第S1期16卷 227-231页
作者： 张海成 长春光学精密机械学院
由平行弹簧和ＰＺＴ构成的纳米位置控制机构，将在纳米加工和测试装置中得到广泛的应用。本文在对该种结构进行了较深入系统探讨的基础上，推出了一种由新型一体型平行弹簧构成的二维纳米微动机构。其轴间干扰小．位置控制精度高，动态... 详细信息
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