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主题

  • 1 篇 模量
  • 1 篇 空心阴极
  • 1 篇 纳米压入
  • 1 篇 硬度
  • 1 篇 α-cnx:h

机构

  • 1 篇 中国工程物理研究...
  • 1 篇 四川大学

作者

  • 1 篇 倪静
  • 1 篇 陈志梅
  • 1 篇 杨向东
  • 1 篇 唐永建
  • 1 篇 吴卫东

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=α-CNx:H"
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空心阴极制备a-CN_x:h薄膜的结构及力学性能研究
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功能材料 2007年 第9期38卷 1460-1463页
作者： 倪静 陈志梅 吴卫东 杨向东 唐永建 四川大学原子分子物理研究所 四川成都610065 中国工程物理研究院 四川绵阳621900
以Ch4和N2为反应气体,采用空心阴极放电激发的等离子体增强化学气相沉积法在Si片上制备出了氢化非晶碳氮(a-cnx∶h)薄膜。利用原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面光洁度及表面形貌进行了测量和表征。利用X射线光电子能谱(XPS)、傅立叶红外... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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