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稀有金属材料与工程 2013年第S2期42卷 553-557页

作者：于斌斌袁军堂汪振华夏亮亮黄云林南京理工大学江苏南京210094

膜层耐磨性能的测量与评价已成为硬质薄膜技术发展与应用的关键问题。球磨技术采用连续回转运动的Gcr15轴承钢球带动悬浮液中的金刚石颗粒(直径为1.5μm)对试样进行球磨,通过对"圆环状"磨痕内外圈直径的测量,并利用提出的单位磨损率概... 详细信息

膜层耐磨性能的测量与评价已成为硬质薄膜技术发展与应用的关键问题。球磨技术采用连续回转运动的Gcr15轴承钢球带动悬浮液中的金刚石颗粒(直径为1.5μm)对试样进行球磨,通过对"圆环状"磨痕内外圈直径的测量,并利用提出的单位磨损率概念评价其耐磨性。以非平衡磁控溅射/阳极离子束沉积法在SKD11不锈钢基体上制备的cr/α-c:h多层膜为研究对象,采用球磨法检测耐磨性能,磨球转速为200 r/min(0.26 m·s-1),对试样的压力载荷为0.45 N,球磨圈数在50～800之间。并通过体式显微镜,原子力显微镜以及扫描电镜对薄膜的磨损情况进行表面观察。经对实验数据的分析,球磨圈数350为耐磨临界值,测得cr/α-c:h膜的单位磨损率δ为8.87×10-9(mm4·mm-2)。结果表明,薄膜在微粒磨损的作用下,其去除机制主要以微切削和犁沟为主。

关键词：球磨微粒磨损 α-c:h膜金刚石颗粒耐磨性

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射频等离子体沉积类金刚石膜微结构的表征

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Journal of Semiconductors 1993年第1期14卷 6-12页

作者：杨伟毅华东工学院光电技术系南京210014

利用傅里叶变换红外光谱仪和X射线激发的cKLL俄歇谱的一次微分表征了类金刚石(DLc)膜的微结构。指出在高离子能量轰击和低ch_4压强下所形成的DLc膜内以sp^3c-c键为主,并且sp^3碳成分随V/Pa^(1/2) 增加而增加,与退火温度从200℃ 到800℃... 详细信息

利用傅里叶变换红外光谱仪和X射线激发的cKLL俄歇谱的一次微分表征了类金刚石(DLc)膜的微结构。指出在高离子能量轰击和低ch_4压强下所形成的DLc膜内以sp^3c-c键为主,并且sp^3碳成分随V/Pa^(1/2) 增加而增加,与退火温度从200℃ 到800℃无关,DLc膜具有好的热稳定性。DLc膜密度研究指出:膜密度与沉积参量和基底材料有关。

关键词：类金刚石膜 α-c:h膜等离子体沉积

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