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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 纳米焊接
  • 1 篇 高强度电子束
  • 1 篇 纳米切割

机构

  • 1 篇 北京大学纳米器件...

作者

  • 1 篇 许胜勇

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=高强度电子束"
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电子束纳米焊接与纳米切割
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电子显微学报 2007年 第6期26卷 563-569页
作者： 许胜勇 北京大学纳米器件物理与化学教育部重点实验室北京大学电子学系 北京100871
对小到1nm大到100nm的"纳米尺度",目前并没有成熟的原位物理加工技术。我们演示高强度电子束技术在纳米尺度上应用于原位物理加工的潜力,将高亮度场发射透射电子显微镜的电子束汇聚到直径1nm左右,可得到强度为106A/cm2量级的电子束。这... 详细信息
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