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  • 1 篇 理学
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    • 1 篇 光学工程

主题

  • 1 篇 三叶像差
  • 1 篇 条纹泽尼克多项式
  • 1 篇 几何光学
  • 1 篇 面形精修

机构

  • 1 篇 中国科学院长春光...

作者

  • 1 篇 刘春来
  • 1 篇 史振广
  • 1 篇 门树东
  • 1 篇 赵阳
  • 1 篇 王平
  • 1 篇 谷勇强

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=面形精修"
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利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差
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光学学报 2015年 第8期35卷 269-274页
作者： 赵阳 王平 史振广 谷勇强 刘春来 门树东 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 吉林长春130033
极小像差投影物镜中的高阶像差很难通过调节机构消除,是约束像质进一步补偿优化的瓶颈。离子束溅射(IBF)设备广泛应用于光学加工中,能够较好地去除低频和中频误差,实现高精度面形精修。对现有投影物镜小比例验证模型的系统波像差成分进... 详细信息
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