检索结果-南通市图书馆

本论文可概分为三部分：1改善用于极紫外光（Extreme ultraviolet,EUV）微影系统之多层膜反射镜之反射率以及其等效计算方法;2开发用于多尺度（multi-scale）电子束直写（Electron-beam directwrite,EBDW）微影系统之数值计算方法;3开... 详细信息

本论文可概分为三部分：1改善用于极紫外光（Extreme ultraviolet,EUV）微影系统之多层膜反射镜之反射率以及其等效计算方法;2开发用于多尺度（multi-scale）电子束直写（Electron-beam directwrite,EBDW）微影系统之数值计算方法;3开发非破坏式光学检测系统用于量测光阻线（photo-resist lines）之几何外形与多层膜彩色滤光片（color filter）之光学性质。对于极紫外光反射镜之研究,我们设计了以40层钼/硅多层膜为基底之光子晶体（photonic crystal）反射镜。

关键词：量测系统滤光片几何外形 photonic ultraviolet 光学检测光子晶体次世代 resist 光学性质

来源：

维普期刊数据库

同方期刊数据库评论

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

国家智能电网量测系统产业计量测试中心获批筹建

引用

品牌与标准化 2017年第12期 51-51页

近日,国家智能电网量测系统产业计量测试中心批筹揭牌仪式在京举行。国家智能电网量测系统产业计量测试中心依托国家电网公司国网计量中心筹建,旨在研究具有产业特点的量值传递技术和产业关键领域关键参数的测量、测试技术,开发产业专... 详细信息

近日,国家智能电网量测系统产业计量测试中心批筹揭牌仪式在京举行。国家智能电网量测系统产业计量测试中心依托国家电网公司国网计量中心筹建,旨在研究具有产业特点的量值传递技术和产业关键领域关键参数的测量、测试技术,开发产业专用测量、测试装备,研究服务智能电网量测系统产业全溯源链、全寿命周期全产业链并具有前瞻性的计量技术,

关键词：计量测试智能电网量测系统

来源：

同方期刊数据库评论

在线全文

同方期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

A／D型微控制器适用于电桥式传感器的量测系统

引用

电子设计技术 EDN CHINA 2008年第10期15卷 34-34页

HT46R72D－1A与HT46R73D－1A是盛群半导体新推出的双斜率A／D型8位OTPMCU，其符合工业规格，同时具有OTP Partial Lock功能，特别适用于电桥式传感器的量测系统。

关键词：桥式传感器量测系统微控制器 D型 Lock 半导体 OTP

来源：

维普期刊数据库评论

在线全文

维普期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

次世代微影术及其非破坏式光学量测系统之研究

引用

金属加工（冷加工） 2015年第10期 81-81页

作者：李彦旻李佳翰台湾大学

本论文包含三项研究：一、极紫外光（extreme ultraviolet）微影系统：1.设计以40层钼/硅为基材之光子晶体（photoniccrystal）反射面镜,从数值计算得知,此面镜大幅提升对极紫外光之反射率,并能承受更高之照射温度与能量。2.改善传输线... 详细信息

本论文包含三项研究：一、极紫外光（extreme ultraviolet）微影系统：1.设计以40层钼/硅为基材之光子晶体（photoniccrystal）反射面镜,从数值计算得知,此面镜大幅提升对极紫外光之反射率,并能承受更高之照射温度与能量。2.改善传输线理论（transmission line theory）,使之用于加速多层钼/硅面镜之设计。