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基于磁控溅射技术的薄膜衰减材料制备

基于磁控溅射技术的薄膜衰减材料制备

作者：刘红军中国科学院大学(工程管理与信息技术学院)

学位级别：硕士

随着微波真空电子器件不断向轻量化、小型化、集成化、高可靠性和低成本方向发展,也对器件内部的微波衰减材料提出了更高的要求。所以研制出“重量轻、频带宽、吸收强、厚度薄”的微波衰减材料的重要性和迫切性不言而喻。我国目前正使用... 详细信息

随着微波真空电子器件不断向轻量化、小型化、集成化、高可靠性和低成本方向发展,也对器件内部的微波衰减材料提出了更高的要求。所以研制出“重量轻、频带宽、吸收强、厚度薄”的微波衰减材料的重要性和迫切性不言而喻。我国目前正使用的FeSiAl涂层微波衰减材料,拥有很好的起始磁导率,且材料中不含低熔点物质和易挥发物质,采用涂敷加烧结的方式,可以迅速的将吸收的能量转换成热能传到管外,而且工艺简单重复性好,成品率高。其烧结后FeSiAl厚度为100-200μ m,呈涂层状。目前,正在研制的更小体积的真空电子器件,对衰减材料的厚度要求为纳米或微米级别,FeSiAl涂敷烧结的方式已经不能满足要求。本课题另外采用了等离子体镀膜方式——磁控溅射,用来制备纳米或微米级别厚度的薄膜微波衰减材料。作者完成的主要工作如下：(1)采用热压烧结等方式成功制备了磁控溅射薄膜衰减材料所用的靶材;(2)利用磁控溅射技术成功制出了具有衰减性能的薄膜微波衰减材料;(3)对所制备的薄膜微波衰减材料的微观形貌及成分进行了系统的分析,给出了关于磁控溅射薄膜衰减材料衰减机理的推断。通过开展对薄膜制备工艺、成分及形貌微观分析等研究,搞清了薄膜的制备工艺及特性,为将该薄膜应用于器件奠定良好的工艺及技术基础。相信今后通过进一步开展研究,有望发展出具有高频、宽频带微波吸收性能纳米或微米级别厚度的薄膜衰减材料,从而为高频率微波电真空器件的研制提供一种全新的功能材料。

关键词：磁控溅射薄膜衰减材料 FeSiAl 靶材

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衰减材料选择对X射线能谱测量的影响

衰减材料选择对X射线能谱测量的影响

中国核学会2013年学术年会

作者：王毅李勤李天涛中国工程物理研究院流体物理研究所中物院脉冲功率科学与技术重点实验室

本文研究了在基于衰减透射原理的高能X射线能谱测量中,衰减材料选择对能谱准确稳定重建的影响。利用蒙特卡罗方法模拟神龙一号直线感应加速器20 MV X射线源穿过不同衰减材料的透射过程。由衰减透射率求解能谱是一种病态条件问题,文中采... 详细信息

本文研究了在基于衰减透射原理的高能X射线能谱测量中,衰减材料选择对能谱准确稳定重建的影响。利用蒙特卡罗方法模拟神龙一号直线感应加速器20 MV X射线源穿过不同衰减材料的透射过程。由衰减透射率求解能谱是一种病态条件问题,文中采用改进的迭代扰动法进行解谱,不仅考虑了透射率计算值与真实值的差异最小化要求,同时还考虑到高能能谱分布曲线的平滑性特点。文中通过计算验证了材料在能谱范围内的衰减特性变化趋势与能谱准确稳定重建的内在联系。结果表明,选用材料的质量衰减系数需满足在整个能谱分布范围内单调递减的要求。

关键词： X射线能谱衰减材料直线感应加速器

来源： cnki会议评论

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微波管用衰减材料的研究

真空电子技术 2007年第3期20卷 31-37,51页

作者：石明鲁燕萍刘征高陇桥北京真空电子技术研究所北京100016

首先介绍了国内外的几种微波衰减材料,同时分析了我所正在使用和研究的几种衰减瓷;其次介绍了波导传输反射法测量微波衰减材料的高频电磁参数,以及国内其它单位和国外的测量水平状况;再次,通过介绍衰减器微波吸收特性的CAD,对衰减瓷在... 详细信息

首先介绍了国内外的几种微波衰减材料,同时分析了我所正在使用和研究的几种衰减瓷;其次介绍了波导传输反射法测量微波衰减材料的高频电磁参数,以及国内其它单位和国外的测量水平状况;再次,通过介绍衰减器微波吸收特性的CAD,对衰减瓷在使用中的不匹配问题进行了讨论;最后结合笔者的认识,讨论了今后微波管用衰减材料的研究方向。

关键词：微波管衰减材料电磁参数吸收特性

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高导热人造多晶金刚石衰减材料的研制

人工晶体 1982年第Z1期 111-112页

作者：陶增六戚立昌人工晶体研究所

集中衰减器是大功率微波行波管中的关键部件。常用的微波衰减材料有氧化铍陶瓷、氧化铝陶瓷和六方氮化硼等,但这些材料各自均有严重的缺点,都不能作为理想的微波衰减材料。已知金刚石的导热性极佳,但未见国外有用高导热多晶金刚石作为... 详细信息

集中衰减器是大功率微波行波管中的关键部件。常用的微波衰减材料有氧化铍陶瓷、氧化铝陶瓷和六方氮化硼等,但这些材料各自均有严重的缺点,都不能作为理想的微波衰减材料。已知金刚石的导热性极佳,但未见国外有用高导热多晶金刚石作为微波衰减材料的报导。本文介绍了各种类型金刚石的导热性。根据不同类型金刚石的导热性及其资源、价格等情况,比较了用它们作为高导热多晶金刚石衰减材料的原料的各自优缺点。探讨了以磨料级

关键词：衰减材料多晶金刚石金刚石多晶体高导热

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用于大功率微波器件的新型薄膜衰减材料

真空电子技术 2004年第3期17卷 20-22,26页

作者：张永清丁耀根中国科学院电子学研究所微波器件中心

根据大功率微波电真空器件中衰减材料的作用及对衰减材料的要求,介绍了一种新型的FeSiAl薄膜衰减材料,并对这一材料的特点、微观结构及衰减机制进行了分析。

关键词：微波衰减材料 FeSiAI 薄膜

FeSiAl衰减材料在W波段的电磁特性研究

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真空电子技术 2017年第4期30卷 35-37页

作者：董芮彤杜英华潘攀中国电子科技集团公司第十二研究所微波电真空器件国家重点实验室北京100015

为了研究FeSiAl材料在W波段的衰减性能,利用矢量网络分析仪对涂覆不同厚度衰减材料的标准波导进行了电磁性能测试。测试结果表明,FeSiAl涂层在W波段具有较高的衰减性能,并且衰减量随涂层厚度增加而增大。通过CST微波工作室软件建立了涂... 详细信息

为了研究FeSiAl材料在W波段的衰减性能,利用矢量网络分析仪对涂覆不同厚度衰减材料的标准波导进行了电磁性能测试。测试结果表明,FeSiAl涂层在W波段具有较高的衰减性能,并且衰减量随涂层厚度增加而增大。通过CST微波工作室软件建立了涂覆FeSiAl材料的矩形波导模型,通过试验结果推算出该材料在W波段的电磁参数。

关键词： FeSiAl 衰减材料 W波段

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高导热人造多晶金钢石衰减材料鉴定会消息

人工晶体学报 1982年第1期 17-17页

根据新材料规划,人工晶体研究所和北京电子管厂共同提出,共同研制成一种新型的高导热、无毒介质材料——高导热人造多晶金钢石衰减材料,并于1982年4月5日—9日在昆明召开了鉴定会。参加会议的有:四机部、建材部的领导部门及领导同志、... 详细信息

根据新材料规划,人工晶体研究所和北京电子管厂共同提出,共同研制成一种新型的高导热、无毒介质材料——高导热人造多晶金钢石衰减材料,并于1982年4月5日—9日在昆明召开了鉴定会。参加会议的有:四机部、建材部的领导部门及领导同志、南京工学院、科学院系统的有关科研单位、四机部系统的有关科研单位及工厂、一些省市所属的有关管理部门、科研单位及工厂、共26个单位的42名代表。会议期间,与会代表听取了有关技术报

关键词：金钢石高导热衰减材料多晶晶体消息新闻

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液体自循环式大功率微波衰减器设计与实现

仪器仪表学报 2011年第5期32卷 1145-1150页

作者：葛翼诗童玲田雨电子科技大学自动化工程学院成都611731

针对大功率微波测量的需要,设计了使用液体衰减材料（硫酸钠溶液）的矩形波导式微波衰减器,给出了液体衰减材料选择,工作温度确定,衰减器匹配结构设计的要点,通过自循环系统大大提高了液体衰减材料的散热效率和功率容量。据此实现的微... 详细信息

针对大功率微波测量的需要,设计了使用液体衰减材料（硫酸钠溶液）的矩形波导式微波衰减器,给出了液体衰减材料选择,工作温度确定,衰减器匹配结构设计的要点,通过自循环系统大大提高了液体衰减材料的散热效率和功率容量。据此实现的微波衰减器在1.8~2.6 GHz频段内具有53 dB的衰减量,点频稳定度达到±0.5 dB,设计功率达到30 kW,与国内外同类型衰减器相比已达到较高水平。

关键词：大功率微波微波测量波导衰减器衰减材料理化特性温度控制

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FeSiAl微波衰减涂层电磁特性分析

真空电子技术 2006年第6期19卷 39-40,44页

作者：张永清丁耀根阴生毅黄云平尹锋岩中国科学院电子学研究所微波器件中心北京100080

采用矢量网络分析仪对FeSiAl微波衰减涂层的电磁参数进行了测试,通过利用电磁波衰减理论进行分析,搞清了FeSiAl微波衰减涂层的衰减类型以及FeSiAl涂层具有优异衰减特性的实质。

关键词：微波衰减材料 FeSiAl 涂层