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    • 1 篇 软件工程

主题

  • 1 篇 电致发光
  • 1 篇 发光二极管
  • 1 篇 氮化镓
  • 1 篇 背后工艺
  • 1 篇 悬空薄膜

机构

  • 1 篇 南京邮电大学

作者

  • 1 篇 袁佳磊
  • 1 篇 沙源清
  • 1 篇 王永进
  • 1 篇 蒋成伟
  • 1 篇 李欣

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=背后工艺"
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电致发光的完全悬空超薄硅衬底氮化镓基蓝光LED器件的制备与表征
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中国光学 2021年 第1期14卷 153-162页
作者： 蒋成伟 沙源清 袁佳磊 王永进 李欣 南京邮电大学通信与信息工程学院 江苏南京210003
为提升硅衬底氮化镓基LED(发光二极管)器件的光电性能和出光效率,本文提出了一种利用背后工艺实现的悬空薄膜蓝光LED器件。结合光刻工艺、深反应离子刻蚀和电感耦合等离子体反应离子刻蚀的背后工艺,制备了发光区域和大部分正负电极区域... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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