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作者：金大标重庆大学

学位级别：硕士

ICF核聚变反应过程要求在真空条件下完成，必须保证主机靶室的真空度，故真空检漏是ICF实验前的重要内容。由于主机靶室的结构特殊性，要求检测诊断设备在安装后不影响主机靶室的真空度。本文中设计的离线真空检漏系统用于主机诊断设备... 详细信息

ICF核聚变反应过程要求在真空条件下完成，必须保证主机靶室的真空度，故真空检漏是ICF实验前的重要内容。由于主机靶室的结构特殊性，要求检测诊断设备在安装后不影响主机靶室的真空度。本文中设计的离线真空检漏系统用于主机诊断设备的离线真空检漏，以检测和确保诊断设备在安装后不影响主机靶室整体真空度。本文重点是设计离线真空检漏装置来对主机的诊断设备进行检漏。本文的主要研究内容及创新性如下： ①在研究了ICF实验对真空环境的要求特点及具体实验要求的基础之上，结合各种常用真空检漏方法和当前检漏系统方面的工程实践，提出了离线真空检漏系统的总体设计方案。 ②根据实验工程用途及功能要求，结合结构最简单、变形最小、重量最轻、传动机构运动链最短和整体优化设计等设计原则，运用三维设计软件Inventor完成了离线真空检漏系统的关键组件建模设计，以及系统整体建模设计。 ③运用有限元分析软件ANSYS对关键部分的结构进行了相关的静力学与动力学分析，得到了主体机械结构在重力及力矩作用下的静力变形结果及前八阶固有振动频率结果，优化了整体结构设计方案。利用ADAMS对模拟靶三维支撑调节组件进行运动仿真，验证了模型的准确性和可靠性。 ④完成离线真空检漏系统的控制系统设计。利用PLC控制系统来实现了对模拟靶三维支撑调节组件的运动控制。为了实现关键部件的精确调节与定位，通过对四个电机的控制，实现靶丸及靶杆沿着x、y、z三个方向移动，以及绕z轴的水平转动。本论文研究的离线真空检漏系统基本达到了设计要求，下一步将通过对诊断设备的真空密封性进行检测，以确定其能否达到在主机靶室上的使用要求，为进一步的工程应用研究提供了有价值的参考。

关键词：真空检漏模拟靶支撑调节有限元分析 PLC控制

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真空检漏技术的发展概况

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真空 1976年第Z1期 100-139页

国外检漏技术全盛的时期是五十年代中期到六十年代中期，主要是大型金属真空系统的出现迫切需要解决检漏问题。四十年代以前只有简单检漏方法，自１９４３年出现质谱检漏计以后使检漏技术发生了很大跃进，今日的质谱检漏计已成为最重要... 详细信息

国外检漏技术全盛的时期是五十年代中期到六十年代中期，主要是大型金属真空系统的出现迫切需要解决检漏问题。四十年代以前只有简单检漏方法，自１９４３年出现质谱检漏计以后使检漏技术发生了很大跃进，今日的质谱检漏计已成为最重要的检漏方法。但与此同时，简易检漏技术也在深入发展，与质谱检漏互为补充。１、检漏的一般概念和所用单位。真空设备没有必要把所有漏孔都检出来，每一种装置都允许有一定的漏量；介绍了实际的数据，可作为选择检漏器的参考。介绍了四种标准漏孔，用四凸缘垫圈密封的漏阀，可得１０－１４～１０－１５乇升／秒的最小漏量。２、检漏原理。介绍在多漏孔存在时的检漏方程式。此方程式是通用的，即可用干“选择性响应”的检验器，也可用于“唯一响应”检漏器。介绍了最佳检漏的条件。最后列出２０种检漏器的可检最小漏量。３、质谱检漏计，质谱检漏计三十多年来有很大发展，但灵敏度始终没有超出１７年前提出的指标：１０－１３乇升／秒。目前一个动向是用灵敏度较低的仪器检出更小的漏孔。介绍了用１０－１０乇升／秒的仪器检出１０－１５乇升／秒的漏孔的方法。质谱计附加一只小冷吸附泵，可用１０－１０乇升／秒的仪器检出１０－１３乇升／秒的漏孔着重介绍质谱检漏

关键词：真空检漏漏量检漏器漏孔发展概况

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真空检漏设备氦气提纯技术的研究与应用

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今日制造与升级 2023年第5期 71-73页

作者：徐茂功约克广州空调冷冻设备有限公司广东清远511685

目前,在家电制冷、电力电子、精密器件、仪器仪表、汽车零部件、装备制造、新能源、新材料等制造行业,广泛应用真空检漏设备对关键零部件进行检漏,以满足产品的高精度质量要求。文章介绍一种应用在传统真空检漏设备上的氦气提纯技术及装... 详细信息

目前,在家电制冷、电力电子、精密器件、仪器仪表、汽车零部件、装备制造、新能源、新材料等制造行业,广泛应用真空检漏设备对关键零部件进行检漏,以满足产品的高精度质量要求。文章介绍一种应用在传统真空检漏设备上的氦气提纯技术及装置,并针对该装置的设备功能、技术特点、设备结构、工艺流程、应用效果、行业应用前景进行探讨和分析。

关键词：氦气提纯氦气回收真空检漏固体吸附法分子筛

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