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电子显微学报 2020年 第1期39卷 34-34页
作者： 苻娇 任子君 西安交通大学分析测试共享中心
由于金刚石具有宽频带隙能、高击穿率等优点,且适用于高温/高氧化、高辐射等环境,具有替代压力传感器中硅基材料的潜力。然而,传统的多晶或纳米晶金刚石的晶间存在一定的杂质和应力,电导率很低。因此,本课题提出以离子注入结合化学气相... 详细信息
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