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激光微调在光通讯波导器件研制中的应用

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应用激光 2002年第5期22卷 497-501,508页

作者：梁迪陆璇辉薛大建浙江大学现代光学仪器国家重点实验室

目前激光微调在光通讯波导器件的研制方面已得到了应用。本文运用激光微调在波导器件上进行了实验,其中以波导环形器和马赫—曾德尔干涉仪为例,具体讨论了激光微调技术在控制波导双折射方面所表现出的高效,简易,实用等优点。

关键词：波导器激光微调波导双折射光通讯

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激光微调系统的自定方位,自对焦和自测试诊断功能

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电气自动化 1990年第5期12卷 35-39页

作者：陈明廉张火

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激光微调技术在激光调阻机中的应用研究

激光微调技术在激光调阻机中的应用研究

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作者：宋云夺中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）

学位级别：硕士

本文综述了厚薄膜电阻微调的常用方法及其原理,重点介绍了激光微调技术在厚薄膜电阻微调中的应用,引入了薄膜电阻激光微调的理论模型,依据此模型,分析了在进行电阻微调过程中,激光参数的选择原则:为保证调阻质量,应使激光能量传递到衬底... 详细信息

本文综述了厚薄膜电阻微调的常用方法及其原理,重点介绍了激光微调技术在厚薄膜电阻微调中的应用,引入了薄膜电阻激光微调的理论模型,依据此模型,分析了在进行电阻微调过程中,激光参数的选择原则:为保证调阻质量,应使激光能量传递到衬底;同时,为不使衬底产生龟裂,应控制到达衬底的激光能量。并全面地阐述了激光调阻机的构成及工作原理,对有关主要单元进行了细致的设计分析,给出了设计参数。介绍了微调电阻常用的形状以及调阻路径,总结了影响激光调阻质量和精度的各种原因,并对各种因素进行了分析,提出了改进措施,通过实验,得出了调阻质量和一些参数的关系,理论分析和实验结果可以为调阻机的调试和应用提供指导作用。

关键词：激光微调片式电阻精度

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微波介质谐振器自动检测与激光微调

微波介质谐振器自动检测与激光微调

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作者：杨国山厦门大学

学位级别：硕士

新型的介质陶瓷材料具有介电常数高、介质损耗低、温度系数小等优点。介质陶瓷制作的微波介质谐振器是现代微波电路的关键元器件,在缩小电路体积、降低电路损耗、提高电路稳定性上起着关键性作用。微波介质谐振器构成的介质滤波器、介... 详细信息

新型的介质陶瓷材料具有介电常数高、介质损耗低、温度系数小等优点。介质陶瓷制作的微波介质谐振器是现代微波电路的关键元器件,在缩小电路体积、降低电路损耗、提高电路稳定性上起着关键性作用。微波介质谐振器构成的介质滤波器、介质天线、介质稳频振荡器等微波电路的主要元器件,广泛应用于移动通信、卫星广播、GPS导航等领域。谐振频率是微波介质谐振器的主要参数之一。本文分析了常见的介质谐振器谐振频率的求解方法:等效介电常数法、模匹配法、有限差分法等,提出采用亥姆霍兹方程的等价泛函,结合MATLAB中的偏微分方程的有限元求解工具箱,求解轴对称结构介质谐振器谐振频率和品质因数的方法。实例求解了介质基板上的介质谐振器谐振频率和无载品质因数,与多篇文献中采用不同方法的计算结果进行了比较,验证了本文方法的正确性。谐振频率的微调是微波电路制作的必备过程。本文介绍了文献上的多种谐振频率微调方法,并通过计算带调节杆的介质基板上的介质谐振器谐振频率和导体品质因数,分析了谐振频率的调节范围与电路性能的关系。采用有限元法对介质谐振器激光微调后的谐振频率变化量进行了理论计算及分析,从理论上及实际微调中验证了激光微调介质谐振器的可行性及其优势。谐振频率的自动、快速、精确检测是介质谐振器生产过程中的关键环节。本文研制了一套自动检测与微调介质谐振器谐振频率的系统。通过检测装置的自动控制和检测软件的有效配合,实现了检测与微调的自动化。同时编写了不同的测试程序,该自动检测装置还用于介质谐振器温度系数的快速检测,有效提高温度系数的检测效率。

关键词：介质谐振器自动检测激光微调

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激光微调电阻值技术

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激光与红外 1985年第7期 12-16+20页

作者：竺佩芳阎吉祥

一、引言随着微电子工业发展,对厚、薄膜电路的需要量越来越大,对精度的要求也越来越高。激光微调技术已在很多国家得到应用。激光用于调整厚、薄膜电路及硅上薄膜电路中的电阻、电容特别有效;如高精度单片集成的数模转换器用激光微调... 详细信息

一、引言随着微电子工业发展,对厚、薄膜电路的需要量越来越大,对精度的要求也越来越高。激光微调技术已在很多国家得到应用。激光用于调整厚、薄膜电路及硅上薄膜电路中的电阻、电容特别有效;如高精度单片集成的数模转换器用激光微调容易实现,还可调整电路中的某些元件参数,使电路达到总技术指标。本文着重论述的是最基本的微调,即对电阻的阻值的微调。现代微电子设备中常用两种电阻膜:(1)薄膜电路。用钽或镍铬合金或铬硅材料通过真

关键词：激光波长激光微调激光加工电阻值微调机激光器光激射器电子器件薄膜电路 YAG 反射率反射比率功率密度刻线宽度热扩散率输运过程脉冲重复频率光能量光强度微加工电阻膜

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激光微调技术

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长春理工大学学报(自然科学版) 1987年第2期 53-58页

作者：邬春桂航天部七七一所

介绍微电子学中精密电阻的激光微调原理、系统组成及微调方法。对系统中几个主要单元技术设计思想以及应用中一些关键技术作了具体说明。

关键词：激光微调精密电阻微电子学激光加工光束扫描器光学系统激光器光激射器电子器件探针卡

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激光微调厚膜电阻器技术

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四川激光 1982年第4期3卷 43-46页

作者：刘志国

本文论述了影响调阻精度和电阻器稳定性的各种因素。研究了设备的有关参数（光束功率，脉冲频率及调整速度）对电阻器性能的影响，并用Q开关YAG激光系统通过统计方法设计的试验来确定了这些影响的大小。文中提到用电子扫描显微镜检查激... 详细信息

本文论述了影响调阻精度和电阻器稳定性的各种因素。研究了设备的有关参数（光束功率，脉冲频率及调整速度）对电阻器性能的影响，并用Q开关YAG激光系统通过统计方法设计的试验来确定了这些影响的大小。文中提到用电子扫描显微镜检查激光切槽的质量以及这种切槽的质量赋切槽的绝缘电阻测量的关系。为了迅速确定切槽的稳定性，并提出了一种能用于生产而又相当简单的质量控制测试法。另外也还讨论了激光切槽设计和调整范围的精度与稳定性的影响。