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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程

主题

  • 1 篇 新型si基微结构
  • 1 篇 气体传感器
  • 1 篇 纳米孔al2o3膜
  • 1 篇 氨气
  • 1 篇 聚苯胺

机构

  • 1 篇 哈尔滨理工大学

作者

  • 1 篇 马新甜
  • 1 篇 施云波
  • 1 篇 兰云萍
  • 1 篇 冯侨华

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=新型Si基微结构"
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纳米孔Al_2O_3修饰si基氨气传感器设计
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传感器与微系统 2015年 第8期34卷 106-109页
作者： 冯侨华 马新甜 兰云萍 施云波 哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院测控技术与仪器黑龙江省高校重点实验室 黑龙江哈尔滨150080
针对si基微结构气体传感器中si基与敏感材料之间附着性较差的问题,提出在si基与敏感材料之间引入纳米孔Al2O3膜形成新型si基微结构传感器,利用ANSYS分析软件对微结构进行热分析。采用薄膜工艺、光刻工艺、电化学阳极氧化工艺在si衬底上... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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