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  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
    • 1 篇 地质学

主题

  • 2 篇 激光技术
  • 2 篇 飞秒激光直写
  • 2 篇 剥离工艺
  • 2 篇 光刻胶
  • 2 篇 掩模板加工
  • 2 篇 金属图案化

机构

  • 2 篇 之江实验室智能芯...
  • 2 篇 浙江大学
  • 2 篇 杭州电子科技大学

作者

  • 2 篇 邱毅伟
  • 2 篇 匡翠方
  • 2 篇 庞茂璋
  • 2 篇 曹春

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=掩模板加工"
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基于飞秒激光直写技术的金属图案化研究(特邀)
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中国激光 2024年 第12期51卷 431-439页
作者： 庞茂璋 邱毅伟 曹春 匡翠方 杭州电子科技大学机械工程学院 浙江杭州310018 之江实验室智能芯片与器件研究中心 浙江杭州311121 浙江大学光电科学与工程学院 浙江杭州310027
飞秒激光直写是一种新型的纳米加工技术,但由于飞秒激光和金属的光热效应会产生激光烧蚀现象,难以直接在金属上实现高质量图案转移。结合飞秒激光直写技术和剥离(lift-off)工艺,开发了一种新型金属图案转移技术,可成功实现亚微米精度(0... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论
基于飞秒激光直写技术的金属图案化研究（特邀）
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中国激光 2024年 第12期 439-447页
作者： 庞茂璋 邱毅伟 曹春 匡翠方 杭州电子科技大学机械工程学院 之江实验室智能芯片与器件研究中心 浙江大学光电科学与工程学院
飞秒激光直写是一种新型的纳米加工技术，但由于飞秒激光和金属的光热效应会产生激光烧蚀现象，难以直接在金属上实现高质量图案转移。结合飞秒激光直写技术和剥离（lift-off）工艺，开发了一种新型金属图案转移技术，可成功实现亚微米... 详细信息
来源： 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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