检索结果-南通市图书馆

模具制造 2007年第6期7卷 49-51页

作者：张晓辉李积彬深圳大学广东深圳518060

利用Pro/E对微齿轮制件进行建模并加以分析,设计出一副应用于微注射齿轮加工的模具。结构上利用型腔镶块,模板材料上选用透气钢解决了微齿轮加工中排气的难点,四杆机构的使用合理地避免了顶出过程中有可能产生的缺陷。

关键词：注射模微齿轮透气钢四杆机构

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基于白光干涉原理的微齿轮几何特征检测

佛山科学技术学院学报（自然科学版） 2013年第2期31卷 58-61页

作者：傅贵武申路王宇华佛山科学技术学院机电工程系广东佛山528000 华南理工大学机械与汽车工程学院广东广州510640

将垂直扫描白光干涉(VSI)测量方法应用于微齿轮的几何特性检测中,该方法具有非接触、大量程、高精度、高效率等特点,水平分辨力为亚微米级,垂直分辨力可以达到纳米量级,并通过Hilbert变换法提取包络峰值来恢复被测表面的三维形貌尺寸。... 详细信息

将垂直扫描白光干涉(VSI)测量方法应用于微齿轮的几何特性检测中,该方法具有非接触、大量程、高精度、高效率等特点,水平分辨力为亚微米级,垂直分辨力可以达到纳米量级,并通过Hilbert变换法提取包络峰值来恢复被测表面的三维形貌尺寸。研究结果表明,垂直扫描白光干涉测量方法能够实现微齿轮几何特性的检测,满足设计中提出的精度要求。

关键词：白光干涉微齿轮几何特征检测

LIGA技术制造微齿轮中X光掩模板图形的CAD设计

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微细加工技术 2000年第1期 66-70页

作者：陈文元张卫平周迪范志荣上海交通大学信息存储研究中心上海200030

介绍了用LIGA技术研制用于微行星齿轮减速器的微齿轮过程中 ,X光掩模板图形的CAD设计。它包括微齿轮的建模和图形的生成 ,微齿轮图形的分割及图形的拟合。

关键词： LIGA技术微齿轮 CAD X光掩模板图形 MEMS

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微齿轮加工工艺研究

应用科学学报 1993年第4期11卷 360-365页

作者：赵新安苏毅张熙谭淞生王渭源中国科学院上海冶金研究所

微机械加工技术是在IC平面工艺结合牺牲层腐蚀工艺基础上发展和形成的.在八十年代中应用了这种准三维加工技术,出现了尺寸在几十到几百微米的微型传感器.从而,传感器的性能和成品率得到提高,而成本下降.同时,为微电子机械集成奠定了一... 详细信息

微机械加工技术是在IC平面工艺结合牺牲层腐蚀工艺基础上发展和形成的.在八十年代中应用了这种准三维加工技术,出现了尺寸在几十到几百微米的微型传感器.从而,传感器的性能和成品率得到提高,而成本下降.同时,为微电子机械集成奠定了一定的基础.尤其是1988年美国加里弗尼亚大学采用这种工艺成功地制成了直径仅为头发丝粗细的硅静电马达,从此得到了世界各国科学家的高度重视和大力发展.

关键词：微齿轮微机械加工加工工艺齿轮

酸性溶液下321不锈钢微齿轮结构的微细电解线切割加工

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酸性溶液下321不锈钢微齿轮结构的微细电解线切割加工

准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用

第18届全国特种加工学术会议

作者：杭雨森曾永彬南京航空航天大学机电学院

不锈钢材料是运用极为广泛的一种具有优异性能的金属材料,其具有较好的耐腐蚀性以及耐热性,不论是大型器械,或是小型零部件均可采用不锈钢材料制备,且无论是民用、军工还是航空航天领域,都能见到不锈钢材料。随着精密技术的不断发展,零... 详细信息

不锈钢材料是运用极为广泛的一种具有优异性能的金属材料,其具有较好的耐腐蚀性以及耐热性,不论是大型器械,或是小型零部件均可采用不锈钢材料制备,且无论是民用、军工还是航空航天领域,都能见到不锈钢材料。随着精密技术的不断发展,零部件的尺寸越来越趋向于微尺寸化,尤其是一些精密金属零件,其对于微尺寸结构的加工要求不断提高,对于加工工艺也是不断提出挑战。针对微尺寸结构的加工,不论是传统加工方式,还是特种加工方法,加工工艺也在不断改进。微细切削方法是微结构成形的一种加工方式,其成本低且效率高,但是存在刀具磨损以及加工热,而且对于薄壁件的加工,加工应力的存在使得薄壁微尺寸结构的加工难以实现。相较于传统加工,特种加工方法对金属微结构的加工具有一定的优势。微细电火花和激光加工是具备的微结构加工的两种工艺方法,加工效率高,且加工效果良好,结构尺寸微小,但是同属于热能加工的两种工艺方法都会产生重铸层、热影响区等缺陷。微细电解加工虽然效率较低且只能加工可导电金属材料,但是其加工不存在加工应力,加工后的零部件无重铸层、热影响区等缺陷,是一种较为合适的金属微尺寸结构的加工工艺方法。针对齿轮这一典型结构的微尺寸加工,采用100μm厚的321不锈钢材料,开展微齿轮结构的微细电解线切割加工试验研究。采用酸性溶液作为电解液,从稀盐酸溶液和稀硫酸溶液中选择,并以不锈钢材料在两种溶液中的极化特性以及加工效果为参考;在不同浓度的电解液中进行微缝电解线切割试验,研究电解液浓度变化对加工结果的影响,并选择合适的电解液浓度;针对不同电压和脉冲宽度研究电参数对微缝质量的影响,择优选择合适的电压和脉冲宽度参数;最后详细阐述线电极上下走丝幅度对切割效果的影响,综合所有影响因素对微缝质量的影响结果,从而得出一个初步的合适的参数组合:稀硫酸溶液浓度0.1M、超短脉冲电压8V、脉冲周期3μs、脉冲宽度170ns、线电极振幅150μm,成功加工出模数0.5且分度圆直径600μm的微齿轮。

关键词：微细电解线切割不锈钢电化学溶解特性微齿轮

来源： cnki会议评论

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cnki会议

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光学精密工程 1995年第3期3卷 64-66页

作者：姚劲松王志勤王飞宣明梁静秋王一凡中国科学院长春光学精密机械研究所

三维微细加工中的ＬＩＧＡ技术是被国际上公认为最有发展前途的一种微机械零部件加工工艺技术，但在我国与之配套的辅助工艺尚不完善，因而限制了其发展速度。我们采用准ＬＩＧＡ工艺技术，以常规的紫外光刻方法，成功地制成了具有较高... 详细信息

三维微细加工中的ＬＩＧＡ技术是被国际上公认为最有发展前途的一种微机械零部件加工工艺技术，但在我国与之配套的辅助工艺尚不完善，因而限制了其发展速度。我们采用准ＬＩＧＡ工艺技术，以常规的紫外光刻方法，成功地制成了具有较高深宽比的微金属齿轮。

关键词：微型机械 LIGA工艺准LIGA工艺微齿轮

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多国科学家研制靠微粒子推动的新型微齿轮

环球飞行 2016年第3期 11-11页

作者：小顾

据物理学家组织网报道，意大利、德国和西班牙的科学家合作，日前成功设计出一种由微粒子推动的新型微齿轮。微粒子以周围过氧化氢溶液为燃料推动自身前进。就像微型马达，当它们进入齿间就会推动微齿轮旋转。将来这种微齿轮有望作为自... 详细信息

据物理学家组织网报道，意大利、德国和西班牙的科学家合作，日前成功设计出一种由微粒子推动的新型微齿轮。微粒子以周围过氧化氢溶液为燃料推动自身前进。就像微型马达，当它们进入齿间就会推动微齿轮旋转。将来这种微齿轮有望作为自动微机器的基本构件。

关键词：微齿轮微粒子科学家过氧化氢溶液物理学家微型马达意大利西班牙

电场升温速率对Ti6Al4V钛合金微齿轮成形性影响

维普期刊数据库评论

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维普期刊数据库

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稀有金属材料与工程 2020年第10期49卷 3294-3300页

作者：阎相忠但磊杨屹田彦康黄坤兰四川大学机械工程学院四川成都610065 四川大学四川成都610065 思克莱德大学精密制造与微制造中心英国格拉斯哥GllXJ

采用电场辅助微塑性模锻成形技术成型了高强度、大硬度、低塑性的Ti6Al4V钛合金微齿轮。结果表明,在电场作用下,圆柱形Ti6Al4V坯料在石墨模具中可以成型微齿轮。Ti6Al4V材料在加热速率为5℃/s时具有最佳的可成型性,较高的加热速率30和40... 详细信息

采用电场辅助微塑性模锻成形技术成型了高强度、大硬度、低塑性的Ti6Al4V钛合金微齿轮。结果表明,在电场作用下,圆柱形Ti6Al4V坯料在石墨模具中可以成型微齿轮。Ti6Al4V材料在加热速率为5℃/s时具有最佳的可成型性,较高的加热速率30和40℃/s可以有效地缩短材料预变形的时间。经电场辅助成型的样品均具有魏氏结构,但齿顶比齿心的组织更细小。加热速率为5和10℃/s的试样β相含量略高于原始坯料,但加热速率为20、30和40℃/s的试样没有显示出β相。此外,在电场作用下,所有成形样品的维氏硬度均有所增加。

关键词： Ti6Al4V钛合金低塑性电场微齿轮成形性

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Zr基非晶合金微齿轮成形及性能研究

Zr基非晶合金微齿轮成形及性能研究

作者：张钊博华中科技大学

学位级别：硕士

微型齿轮作为MEMS器件的重要组成部分，目前正在朝着复杂化和微型化方向发展，其结构的精度和可靠性问题也随之变得越来越突出。非晶合金作为一种性能优良的材料，显示出其在微纳制备领域的巨大应用前景。本文以Zr基非晶合金作为研究材... 详细信息

微型齿轮作为MEMS器件的重要组成部分，目前正在朝着复杂化和微型化方向发展，其结构的精度和可靠性问题也随之变得越来越突出。非晶合金作为一种性能优良的材料，显示出其在微纳制备领域的巨大应用前景。本文以Zr基非晶合金作为研究材料，探索了微齿轮超塑性成形工艺，并对所制备微齿轮进行检测，实现了微尺度下齿轮装配及高速运转。主要研究内容如下：（1）在220K/min升温速率下，研究了Zr基非晶合金最佳成形温度区间以及保压时间对形变量的影响。之后通过统计实验研究了硅模具破碎原因，并配置夹具减小了超塑性成形过程中硅模具破碎概率。采用研究所得出的工艺参数，成形出轮廓清晰、齿形完整且依然保持非晶态的微齿轮。之后设计套刻工艺，制备出齿形完整的双层非晶齿轮。（2）利用共聚焦显微镜对微齿轮的厚度、端面倾斜角度及表面粗糙度进行检测，从而验证微齿轮形貌满足其使用要求。并利用原位纳米力学测试系统测得了微齿轮的硬度及杨氏模量，以及不同加载速率下的载荷—位移图，通过分析该图，得出加载速率一定时，在较高加载速率下，微齿轮更容易产生变形。（3）研究了微型齿轮系装配工艺并设计装配方案。应用微型步进电机作为动力机构，搭建三自由度微动平台，实现了驱动轮与微齿轮系之间啮合运转。进行长时间高转速运转检测，分别观察了运转10h及100h后微齿轮磨损情况。之后将硅齿轮和非晶齿轮进行啮合运转，比较了不同材料啮合情况下润滑油液残余物能谱图，并通过冲击试验，验证了非晶合金良好的力学性能。本文研究了Zr基非晶合金微齿轮成形工艺，并对所制备微齿轮进行性能检测，装配出可用于连续高速运转的微型齿轮系，为非晶合金微齿轮的制备及在微纳领域的应用提供工艺指导。

关键词：非晶合金微齿轮超塑性微成形性能检测微传动平台

同方学位论文库评论

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同方学位论文库

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细晶T2紫铜微小齿轮体积微成形研究

精密成形工程 2016年第3期8卷 30-33,51页

作者：王小权张顺连桂豪龚峰深圳大学深圳市模具先进制造技术重点实验室广东深圳518060

目的提高体积微成形件的成形质量。方法利用等径角挤压工艺,沿BC路径对T2紫铜试样进行了8个道次的挤压,获得了延伸率高达56.7%的细晶材料。选择DEFORM软件对微小齿轮的成形过程进行了有限元分析,得到了合适的成形工艺参数。结果利用不... 详细信息

目的提高体积微成形件的成形质量。方法利用等径角挤压工艺,沿BC路径对T2紫铜试样进行了8个道次的挤压,获得了延伸率高达56.7%的细晶材料。选择DEFORM软件对微小齿轮的成形过程进行了有限元分析,得到了合适的成形工艺参数。结果利用不同组织的材料,成形出了最小模数为0.1 mm,分度圆直径为1 mm的微小齿轮件。结论实验结果表明,与常规多晶材料相比,细晶材料成形的微小齿轮的尺寸精度有了较大提高。

关键词：体积微成形等径角挤压细晶T2紫铜微齿轮