检索结果-南通市图书馆

微机械加工技术

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半导体技术 1994年第6期10卷 5-9页

作者：杨岳周兆英叶雄英李勇清华大学精密仪器与机械学系

介绍了半导体加工技术、ＬＩＧＡ工艺及精密加工技术等在微机械加工技术中的应用。微机械的研究发展以及在医疗、生物工程等方面的应用，必将给人类的生产和生活带来巨大的变化。

关键词：微机械加工精密加工半导体加工技术 LIGA

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微机械加工技术──等离子体刻蚀

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传感器技术 1997年第4期16卷 58-60页

作者：张光照刘焱东北传感技术研究所哈尔滨150001

简要介绍了利用等离子体刻蚀技术制作背面接点的离子敏场效应管（ISFET）和马赫—增德（Mach-Zehnder）干涉仪式压力传感器的方法．

关键词：等离子体干刻蚀微机械加工

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基于微机械加工技术的双腔型生物传感器

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化学通报 2003年第8期66卷 549-552页

作者：贾能勤章宗穰朱建中张国雄上海师范大学生命与环境科学学院化学系上海200234 中国科学院上海冶金所国家传感器技术重点实验室上海200050

利用微机械加工技术研制了具有三维结构的腔型传感器 ,双腔型工作电极与Ag AgCl参比电极集成在同一微芯片上。考察了微腔型电极的电化学特性及其对H2 O2 含量的测定。并以此为基础电极制备了半乳糖、葡萄糖双腔型生物传感器。结果表明 ... 详细信息

利用微机械加工技术研制了具有三维结构的腔型传感器 ,双腔型工作电极与Ag AgCl参比电极集成在同一微芯片上。考察了微腔型电极的电化学特性及其对H2 O2 含量的测定。并以此为基础电极制备了半乳糖、葡萄糖双腔型生物传感器。结果表明 ,该传感器可同时测定半乳糖、葡萄糖双组分 ,线性上限分别为 4 5mmol L和 4 0mmol L。而且在测试双组分过程中 ,没有观察到明显的交叉干扰现象。

关键词：微机械加工双腔型生物传感器半乳糖葡萄糖血液临床医学诊断

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