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利用p型(100)硅片制备二维光子晶体的工艺

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Journal of Semiconductors 2005年第5期26卷 941-946页

作者：张晚云季家榕袁晓东叶卫民朱志宏国防科技大学光子/声子晶体研究中心长沙410073

采用电化学腐蚀法并结合光刻、反应离子刻蚀以及碱性腐蚀等技术，在p型(100)硅基底中制备了大深宽比的二维大孔硅光子晶体，其二维周期性结构的晶格常数为3．8μm，孔隙直径约3．0μm，孔隙深度超过80μm．在光刻、反应离子刻蚀及碱性... 详细信息

采用电化学腐蚀法并结合光刻、反应离子刻蚀以及碱性腐蚀等技术，在p型(100)硅基底中制备了大深宽比的二维大孔硅光子晶体，其二维周期性结构的晶格常数为3．8μm，孔隙直径约3．0μm，孔隙深度超过80μm．在光刻、反应离子刻蚀及碱性腐蚀所刻印的V形尖坑阵列的基础上，采用优化的电化学腐蚀参数能制备出周期性好、深宽比大、表／侧面光滑的高品质光子晶体结构，并从理论上利用数值模拟的方法证明了该样品结构在归一化频率位于0．162～0．205ωα／(2πc)范围内存在光子带隙．

关键词：大孔硅光子晶体光子禁带制备碱性腐蚀电化学腐蚀

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电化学制备P型硅基二维光子晶体优化参数

电化学 2005年第4期11卷 377-381页

作者：张晚云季家榕袁晓东叶卫民朱志宏国防科技大学光子/声子晶体研究中心湖南长沙410073

利用光刻技术与碱性腐蚀等工艺预写晶格图样,采用电化学腐蚀方法在P〈100〉型硅基底制备二维大孔硅光子禁带结构.结果表明:在预写有晶格图样的P〈100〉型硅基底上由电化学阳极氧化制备的二维大孔硅,其孔洞的生长速率、深宽比及表/侧面... 详细信息

利用光刻技术与碱性腐蚀等工艺预写晶格图样,采用电化学腐蚀方法在P〈100〉型硅基底制备二维大孔硅光子禁带结构.结果表明:在预写有晶格图样的P〈100〉型硅基底上由电化学阳极氧化制备的二维大孔硅,其孔洞的生长速率、深宽比及表/侧面形貌与电解质配比方案及阳极电流密度均密切相关.在优化的电化学工艺参数下得到的空气洞阵列,具有近乎完美的二维四方晶格,晶格常数为3.8μm,孔洞直径约3.0μm,孔洞深宽约90μm,深宽比达30.该方法可用于制备在中红外或近红外波段具有完全二维光子带隙的光子晶体.

关键词：大孔硅光子晶体制备电化学腐蚀法参数优化

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多孔硅基氧化钨气敏传感器的研究

多孔硅基氧化钨气敏传感器的研究

作者：孙鹏天津大学

学位级别：硕士

随着工业和日常生活向空气中排放的污染气体越来越多,新型高性能低功耗的气敏传感器越来越受到人们的关注。本文主要针对多孔硅基氧化钨气敏薄膜以及传感器的电学特性和气敏特性进行了研究。首先,通过双槽电化学腐蚀法制备介孔硅基底... 详细信息

随着工业和日常生活向空气中排放的污染气体越来越多,新型高性能低功耗的气敏传感器越来越受到人们的关注。本文主要针对多孔硅基氧化钨气敏薄膜以及传感器的电学特性和气敏特性进行了研究。首先,通过双槽电化学腐蚀法制备介孔硅基底。选取40,60和80mA/cm三种腐蚀电流密度,得到不同孔隙结构参数的介孔硅样品,对样品进行了孔隙率、SEM、I-V特性等各种测试,分析了介孔硅的材料参数、微观形貌和电学特性等。用静态配气法对一定浓度的NH、CHOH和NO进行了气敏特性测试。结果显示:腐蚀电流密度为80mA/cm的介孔硅样品具有较好的气敏特性。随后,在制备的介孔硅基底上溅射氧化钨薄膜以及Pt电极,形成介孔硅基氧化钨薄膜气敏传感器。通过对氧化钨薄膜溅射时间的选取,得到不同膜厚的样品,对样品进行了SEM、阻温特性等各种测试,分析了介孔硅基氧化钨薄膜的材料参数、微观形貌和电学特性等。用静态配气法对一定浓度的NH和NO进行了气敏特性测试。研究表明:溅射氧化钨薄膜的时间为5分钟的样品具有较好的气敏特性。虽然器件在常温下具有较高的灵敏度,但器件的响应较慢,迫切需求制备一种大孔硅基底,以制备更高性能的大孔硅基氧化钨薄膜气敏传感器。最后,实验提出了大孔硅的制备方法,并对大孔硅的表面形貌,腐蚀深度,孔隙率和气敏特性进行了测试,并且测试了大孔硅基氧化钨气敏薄传感器的气敏特性,为下一步制备更高性能的多孔硅基氧化钨气敏传感器奠定了基础。

关键词：介孔硅大孔硅多孔硅基氧化钨气敏传感器气敏特性

Evaluation study on properties of a macroporous silica-based CMPO extraction resin to be used forminor actinides separation from high level liquid waste

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Nuclear Science and Techniques 2011年第1期22卷 18-24页

作者： LIU Ruiqin WEI Yuezhou Daisuke Tozawa XU Yuanlai Shigekazu Usuda Hiromichi Yamazaki Keizo Ishii Yuichi Sano Yoshikazu Koma School of Nuclear Science and Engineering Shanghai Jiao Tong UniversityShanghai 200240China Cyclotron and Radioisotope Center Tohoku UniversityAoba 6-3Aramaki-Aoba-kuSendaiMiyagi980-8578Japan Japan Atomic Energy Agency (JAEA) TokaiIbaraki319-1195Japan

Basic properties of a silica-based octyl(phenyl)-N,N-diisobutylcarbamoyl-methylphosphine oxide (CMPO) extraction resin (CMPO/SiO2-P) was *** behavior for some rare earth elements (RE) which are constituents of high level liquid waste (HLLW) and the long-term stability of the extraction resin in nitric acid solution were *** CMPO extraction resin was significantly stable in 3 mol·L?1 HNO3 solution at ***,the RE(III) were efficiently separated from non-adsorptive fission product (FP) elements such as Sr(II) in a column experiment using a highly nitric acid *** separation behaviors of the elements are considered to result from the difference in their adsorption and elution selectivity based on the complex formation with *** was no strong dependency of RE(III) separation efficiency on feed solution flow *** from the perspectives of the acid-resistant behavior of CMPO extraction resin and the elution kinetics for the metal ions with the extraction resin,the CMPO extraction resin can be used in the modified MAREC process for HLLW partitioning.

关键词：萃取树脂高放废液锕系元素分离性能大孔硅提取基础选择性吸附

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新型分子筛ITQ-33的结构和催化性能

石油炼制与化工 2009年第12期40卷 25-25页

作者：程薇

Nature杂志2006年报道了一种新型的超大孔硅锗酸盐分子筛ITQ-33，其直的大孔孔道具有18元环孔口，c轴交叉连接了一种双向10元环孔道体系，形成一种具有很大微孔体积的结构。尽管ITQ-33的合成条件非常容易做到，但并非合成硅锗酸盐类分... 详细信息

Nature杂志2006年报道了一种新型的超大孔硅锗酸盐分子筛ITQ-33，其直的大孔孔道具有18元环孔口，c轴交叉连接了一种双向10元环孔道体系，形成一种具有很大微孔体积的结构。尽管ITQ-33的合成条件非常容易做到，但并非合成硅锗酸盐类分子筛的典型条件，其特征是使用高通量的合成技术。

关键词：分子筛催化性能结构合成条件大孔硅交叉连接合成技术锗酸盐