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深紫外宽入射角范围增透膜设计与制备

光电工程 2012年第5期39卷 13-17页

作者：蒲玲琳林大伟李斌成中国科学院光电技术研究所成都610209 中国科学院研究生院北京100049

在大数值孔径深紫外光学系统中,需要使用宽入射角范围的增透膜光学元件。选择LaF3和MgF2两种镀膜材料,设计了适用于深紫外宽入射角范围的三层、五层和七层三种增透膜系。实验使用热舟蒸发在熔融石英基底上镀制了设计的薄膜,并用紫外分... 详细信息

在大数值孔径深紫外光学系统中,需要使用宽入射角范围的增透膜光学元件。选择LaF3和MgF2两种镀膜材料,设计了适用于深紫外宽入射角范围的三层、五层和七层三种增透膜系。实验使用热舟蒸发在熔融石英基底上镀制了设计的薄膜,并用紫外分光光度计对其光谱性能进行了测试,得到了在宽入射角范围内具有较高透过率的深紫外增透膜元件。双面镀五层增透膜系的熔石英基片在0°?55°入射角内的剩余反射率小于2.5%,在0°?20°入射角内的透过率大于98%。

关键词：深紫外增透膜宽入射角范围剩余反射率

以Si_3N_4作增透膜的Si基Ge量子点探测器的研究

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传感技术学报 2006年第5A期19卷 1771-1774页

作者：魏榕山邓宁王民生张爽陈培毅刘理天张璟清华大学微电子学研究所北京100084 英国帝国理工学院Blackett实验室

设计并制作了以Si3N4作增透膜的Si基Ge量子点红外探测器.采用气态源分子束外延(GSMBE)方法在Si(100)衬底上生长了20层的自组织Ge量子点.在此基础上,流水制作了p-i-n结构的量子点红外探测器.为了提高探测器的响应度,采用Si3N4作为增透膜... 详细信息

设计并制作了以Si3N4作增透膜的Si基Ge量子点红外探测器.采用气态源分子束外延(GSMBE)方法在Si(100)衬底上生长了20层的自组织Ge量子点.在此基础上,流水制作了p-i-n结构的量子点红外探测器.为了提高探测器的响应度,采用Si3N4作为增透膜以增强探测器对入射光的吸收.用传输矩阵方法模拟的结果显示,185上nm厚的Si3N4增透膜可以使探测器在1310nm波长处具有较高的吸收率.根据此结果,用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法在探测器表面淀积了185nm的Si3N4.在室温下,测得量子点探测器在1.31μm处的响应度为8.5mA/W,跟没有增透膜的器件相比,响应度提高了将近30倍.

关键词：增透膜气态源分子束外延量子点量子点红外探测器暗电流密度响应度

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晶硅太阳电池上表面增透膜研究

激光与光电子学进展 2014年第10期51卷 223-228页

作者：周涛陆晓东李媛张鹏张明渤海大学新能源学院辽宁锦州121000

利用传递矩阵法（TMM）优化设计多种介质膜材料的单层、双层增透膜结构。利用Silvaco软件的ATLAS器件仿真模块建立基于优化增透膜结构的二维晶硅太阳电池结构。对比分析了具有不同单层、双层增透膜结构的晶硅太阳电池的光谱响应情况。... 详细信息

利用传递矩阵法（TMM）优化设计多种介质膜材料的单层、双层增透膜结构。利用Silvaco软件的ATLAS器件仿真模块建立基于优化增透膜结构的二维晶硅太阳电池结构。对比分析了具有不同单层、双层增透膜结构的晶硅太阳电池的光谱响应情况。结果表明：在200～1100nm波长范围内，由多种不同介质材料组成的双层增透膜比单层增透膜具有更小的光反射损耗；双层增透膜结构可有效降低晶硅太阳电池的光谱响应损耗，且性能优于单层增透膜情况。其中MgF2／ZnS双层增透膜减反效果最好，对380～1000nm波长范围的入射光，可将上表面光反射率降低到5％以下。

关键词：薄膜晶硅太阳电池增透膜反射损耗光生电流

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白宝石窗口增透膜的研究

中国激光 2001年第8期28卷 765-768页

作者：王英剑王靖宋永香张虹李庆国范正修中国科学院上海光机所上海201800

对白宝石 (Al2 O3)和石英 (SiO2 )窗口的性能进行了比较 ,并在白宝石上镀制增透膜 ,进行初步的判断实验 ,取得了良好的效果 ,同时对存在的问题进行了分析 ,指出白宝石是一种比较有前途的高功率激光窗口材料。

关键词：白宝石石英增透膜激光

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增透膜的制备及其性能

增透膜的制备及其性能

作者：姜浩四川大学

学位级别：硕士

在光学系统中，光的反射不仅导致光能的损失，降低成像质量，而且在某些情况下甚至会造成安全隐患。为了减少光学器件表面光的反射，通常在其表面沉积单层或多层透明介质薄膜，称为增透膜或减反膜。增透膜的增透效果与膜层折射率、厚度... 详细信息

在光学系统中，光的反射不仅导致光能的损失，降低成像质量，而且在某些情况下甚至会造成安全隐患。为了减少光学器件表面光的反射，通常在其表面沉积单层或多层透明介质薄膜，称为增透膜或减反膜。增透膜的增透效果与膜层折射率、厚度密切相关，有关这方面的工作已有大量报道。然而这些已报道的方法均不能满足制备大面积、低成本宽带增透膜的需要。为了解决上述问题，本文设计并制备了两种类型的增透膜。第一种是采用液面下降法制备的无机/有机复合双层增透膜。内外膜层的成膜材料分别为TiO/SiO复合溶胶和苯乙烯-甲基丙烯酸甲酯共聚物。通过改变这两种成膜材料的组成比，可使内、外膜层的折射率分别在1.45～2.0和1.49～1.60之间连续可调，双层膜系的膜厚可通过改变液面下降速率和成膜液浓度来加以调节。此外，研究发现，紫外光辐照处理可增加内层无机膜的折射率并同时降低其厚度，制备的双层光学增透膜在可见光谱范围的透过率有很大提高，最高透过率达到99.5％，透过率曲线的形状及其峰值可通过改变内、外膜层折射率及厚度加以调整。户外耐用性实验结果表明：该双层增透膜可在户外环境下长期使用而保持较高的透过率，其户外耐用性可通过将外层聚合物交联或引入含氟基团加以改善。另外一种是采用可控的旋涂或提拉法在基片上沉积而成的单层或多层PMMA纳米粒子增透膜。与双层增透膜相比，纳米粒子增透膜制备方法简单易行，透过率更高，增透范围也更宽。SEM、AFM结果表明：旋涂法所沉积的纳米粒子松散、无规地分布在基片表面上，相应的单面和双面粒子膜透过率在550nm分别为95.7％和99.5％。提拉法对纳米粒子堆积方式可控性差，只能得到紧密堆砌的纳米粒子膜，其相应膜层的实测透过率最高为98％。通过改变粒子粒径和粒子堆积层数可调节纳米粒子膜层的厚度，从而凋节增透范围。少量PEG、PVA和PMMA纳米粒子同时成膜可明显改善粒子与基片之间的附着力，但同时透过效果随这些添加物用量增加而大大下降。用SiO溶胶作为共成膜物填充纳米粒子间空隙，高温烧掉有机PMMA纳米粒子后残留人SiO无机涂层对基片具有良好的附着力，其用量为1％时，单面涂覆情况下透过率峰值可达95.7％。

关键词：增透膜双层纳米粒子增透结构

1064nm，532nm，355nm三倍频增透膜

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激光与红外 1996年第3期26卷 213-215页

作者：章岳光顾培夫刘旭唐晋发浙江大学光科系

三倍频增透膜可应用于谐波产生激光系统。本文首先用矢量法设计了石英玻璃基底上的三倍频增透膜，然后结合工艺试验选定合适膜料，根据材料色散重新优化膜系设计，并用直接反射率控制法制备出性能良好的三倍频增透膜。

关键词：倍频三倍频增透膜谐波薄膜光学激光

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可见光聚合物基增透膜的研究进展

功能材料 2012年第B11期43卷 159-164页

作者：赵利芳潘茂植王芸潘勤敏苏州大学材料与化学化工部江苏苏州215123 台州方远反光材料有限公司浙江台州318000

可见光增透膜是制造很多光学元件的必要材料之一。简要介绍了增透膜增透的原理,在使用单层和多层增透膜增透效果的计算基础上,重点综述了聚合物基增透膜技术的研究进展。这些技术主要包括:(1)在聚合物中引入低折射指数元素;(2)使用纳米... 详细信息

可见光增透膜是制造很多光学元件的必要材料之一。简要介绍了增透膜增透的原理,在使用单层和多层增透膜增透效果的计算基础上,重点综述了聚合物基增透膜技术的研究进展。这些技术主要包括:(1)在聚合物中引入低折射指数元素;(2)使用纳米孔聚合物薄膜调节折射指数;(3)使用高低折射指数组成的复合膜。此外还分析了国内外增透技术的发展趋势、市场需求及其发展前景。

关键词：增透膜折射指数反射聚合物

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红外高效增透膜镀类金刚石膜的特性研究

光学学报 1990年第11期10卷 1028-1032页

作者：姜杰李忠奇昆明物理研究所

外层为氟化物的红外高效膜、膜层软、易吸潮和氧化.本文提出使用类金刚石膜做红外高效膜的保护膜,讨论了镀制类金刚石膜后,镀膜件光谱特性的变化情况.

关键词：类金刚石薄膜红外高效增透膜

基于ZnS增透膜的顶发射白光有机发光二极管

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物理学报 2012年第8期61卷 432-439页

作者：陈淑芬邵茗郭旭钱妍石乃恩解令海杨洋黄维南京邮电大学信息材料与纳米技术研究院江苏省有机电子与信息显示重点实验室南京210046

顶发射白光有机发光二极管(TEWOLED)在白光照明和全彩显示中有着良好的应用前景,克服顶发射器件中的微腔效应是制备光电性能良好的TEWOLED的前提.使用具有高折射率的ZnS作为增透膜改善金属阴极在蓝光波段的透射率,降低其反射性,从而有... 详细信息

顶发射白光有机发光二极管(TEWOLED)在白光照明和全彩显示中有着良好的应用前景,克服顶发射器件中的微腔效应是制备光电性能良好的TEWOLED的前提.使用具有高折射率的ZnS作为增透膜改善金属阴极在蓝光波段的透射率,降低其反射性,从而有效抑制了微腔的影响.同时利用转移矩阵理论和宽角干涉方法分别对阴极结构和蓝光发光层位置进行了优化,最终获得了高效、色纯度良好、色度随视角变化小的TEWOLED.最高亮度和效率分别达到9213 cd/m^2和3 cd/A,色坐标位于白光区且接近白光等能点,同时具有良好的视角稳定性,在0°-60°范围内色坐标仅变化(0.02,0).

关键词：白光有机发光二极管顶发射增透膜转移矩阵理论