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文献类型

  • 2 篇 期刊文献
  • 1 篇 学位论文

馆藏范围

  • 3 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 3 篇 工学
    • 1 篇 机械工程
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 电子科学与技术（可...
    • 1 篇 控制科学与工程

主题

  • 3 篇 叉指式
  • 1 篇 湿度传感器
  • 1 篇 声表面波
  • 1 篇 硅微加速度计
  • 1 篇 电容
  • 1 篇 加速度计
  • 1 篇 换能器
  • 1 篇 有限元
  • 1 篇 聚酰亚胺

机构

  • 1 篇 清华大学
  • 1 篇 电子科技大学

作者

  • 1 篇 高钟毓
  • 1 篇 严震亚
  • 1 篇 袁光
  • 1 篇 丁衡高
  • 1 篇 yaman. k
  • 1 篇 董景新
  • 1 篇 凌娇

语言

  • 3 篇 中文
检索条件"主题词=叉指式"
共 3 条 记 录，以下是1-10 订阅
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叉指式硅微加速度计的结构设计
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清华大学学报（自然科学版） 1998年 第11期38卷 38-41页
作者： 袁光 丁衡高 高钟毓 董景新 清华大学精密仪器与机械学系
为了满足对中等精度的微机械加速度计的需求，讨论了一种硅片溶解法制造的平面叉指式加速度计，其敏感轴平行于检测质量平面。为了分析该种加速度计的分辨率和固有频率，分析了其机械模型和数值解，并且用有限元方法对几种设计尺寸进行... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
千兆赫波段声表面波叉指式换能器及其应用
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引用
电信快报 1991年 第4期 28-32,F003页
作者： Yaman.,K 严震亚
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论
电容式微湿度传感器敏感结构研究
电容式微湿度传感器敏感结构研究
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引用
作者： 凌娇 电子科技大学
学位级别：硕士
湿度传感器不仅在传统的工业、农业、商业、医学和气象学上不可或缺，更在现代军事、微电子器件和航空航天等前沿科技领域占据着举足轻重的地位。随着MEMS技术和集成电路技术的迅猛发展，湿度传感器越来越向着集成化、微型化和多功能化... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
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