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自适应光学激光导星系统中偏振分光膜的研制

光学学报 2014年第1期34卷 304-308页

作者：付秀华莫朝燕黄金龙莫舒蕙吴博琦长春理工大学光电工程学院吉林长春130022 深圳昂纳信息技术(深圳)有限公司广东深圳518118 海南珠江源高级职业技术学校海南海口570216

为了满足自适应光学中激光导星系统的要求,根据薄膜理论,选择合适的薄膜材料,采用针式优化算法并建立与膜内电场强度相关的膜系评价函数,优化出满足要求且电场强度分布较低的膜系。通过电子束加热蒸发和离子源辅助沉积制备薄膜。制备的... 详细信息

为了满足自适应光学中激光导星系统的要求,根据薄膜理论,选择合适的薄膜材料,采用针式优化算法并建立与膜内电场强度相关的膜系评价函数,优化出满足要求且电场强度分布较低的膜系。通过电子束加热蒸发和离子源辅助沉积制备薄膜。制备的偏振分光膜满足偏振耦合分光系统的使用要求,通过了环境测试并具有较高的激光损伤阈值。

关键词：薄膜偏振分光膜针式优化激光损伤阈值自适应光学

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清洗对偏振分光膜损伤阈值的影响

强激光与粒子束 2012年第10期24卷 2338-2342页

作者：叶晓雯王孝东程鑫彬马彬丁涛沈正祥王占山同济大学精密光学工程技术研究所上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室上海200092

采用微分干涉显微镜、扫描电镜和聚焦离子束观察了偏振分光膜损伤的形貌,从损伤机理出发,研究了清洗对偏振分光膜损伤阈值的影响。结果表明:清洗能有效去除表面杂质,清洗质量越好,基板上的杂质尺寸越小,杂质密度也越小,相应的偏振分光膜... 详细信息

采用微分干涉显微镜、扫描电镜和聚焦离子束观察了偏振分光膜损伤的形貌,从损伤机理出发,研究了清洗对偏振分光膜损伤阈值的影响。结果表明:清洗能有效去除表面杂质,清洗质量越好,基板上的杂质尺寸越小,杂质密度也越小,相应的偏振分光膜S光的损伤阈值越高;清洗能有效去除基板表面的纳米吸收中心,吸收性杂质分布密度越小,吸收峰越低,P光的损伤阈值越高。

关键词：偏振分光膜清洗弱吸收损伤阈值电子束蒸发

溶胶—凝胶法制备TiO2/SiO2宽带增透膜及偏振分光膜研究

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溶胶—凝胶法制备TiO2/SiO2宽带增透膜及偏振分光膜研究

作者：王永强西北大学

学位级别：硕士

本文首先利用Mass膜系设计软件，根据多层膜理论，对由TiO和SiO两种材料组成的交替多层膜进行理论模拟设计，得到最佳化和最优化的宽带增透膜模型和偏振分光膜模型。然后以理论模拟结果为指导，利用溶胶-凝胶技术，在酸催化体系中以钛... 详细信息

本文首先利用Mass膜系设计软件，根据多层膜理论，对由TiO和SiO两种材料组成的交替多层膜进行理论模拟设计，得到最佳化和最优化的宽带增透膜模型和偏振分光膜模型。然后以理论模拟结果为指导，利用溶胶-凝胶技术，在酸催化体系中以钛酸丁酯(Ti(OBu))为前驱体制得TiO溶胶，以正硅酸乙酯(TEOS)为前驱体制得SiO溶胶，采用提拉法在普通载玻片上分别镀制不同膜层结构的宽带增透膜和偏振分光膜。利用双光束紫外-可见分光光度计、原子力显微镜、拉曼光谱仪、椭圆偏振仪、双通道光率计等仪器对样品进行表征，研究了样品的透射光谱及透射比、表面形貌、膜层厚度、消光比等特性。增透膜的模拟计算结果表明，垂直入射时，双面镀TiO／SiO膜(hl膜)，在整个440-700nm波段，光线的透射比为99％左右，其增透效果要好于单面膜。根据理论模拟结果，实验采用“交替镀膜”法，制备出宽带增透TiO／SiO多层膜，其方法有别于以往的TiO+SiO”复合膜”法。实验发现，双面hl膜具有明显的宽带增透效果：在400-700nm波段，当光线垂直入射时，增透7％左右;45°角入射时，可增透10％。研究了提拉速度和退火温度对样品透射比的影响，结果表明，提拉速度为9cm／min，膜厚大约为255nm时，整个波段透射效果最好;退火处理对膜片的透射比影响较大，控制退火温度及提拉速度，可以使某些波段透射比增强。薄膜表面的AFM图表明hl膜的表面均匀性良好，80℃处理后薄膜膜层的均方根表面粗糙度(RMS)为1．682，平均粗糙度(RA)为1．208;300℃退火后，其RMS为0．289，RA仅为0．207;550℃退火后，其RMS为0．167，RA仅为0．108。随着退火温度升高，表面粗糙度降低，而表面粗糙度大的薄膜其透射效果较好，这主要是由于随退火温度升高-OH被除去的缘故。偏振分光膜的模拟计算结果表明，TiO／SiO四层膜(lhlh膜)，在400-700nm比较宽的波带范围内，其透射比和反射比接近50％，能够很好地实现分光;其S光反射比可以达到95％，P光的透射比在90％左右，能够较好地分开S光和P光。在实验室中，利用溶胶-凝胶技术，采用提拉法镀制了此种薄膜，对样品的偏振特性及消光比等做了测量。实验测试结果如下：透射P光在检偏器的转动360°的情况下，其曲线变化遵循马吕斯定律，且相对于最大光强，最小光强基本为0;两光强峰值对称，这说明样品棱镜的起偏振性能良好。样品的消光比为476：1。在400-700nm比较宽的波段范围内，样品的P光的透射比超过80％，且其消光比随入射角的变化不敏感。

关键词：溶胶-凝胶法增透膜偏振分光膜膜系设计 TiO2/SiO2多层膜

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偏振分光膜中节瘤缺陷的损伤研

偏振分光膜中节瘤缺陷的损伤研

上海市激光学会2015年学术年会

作者：谢凌云阿卜杜萨拉木·图尼亚孜程鑫彬王占山先进微结构材料教育部重点实验室同济大学精密光学工程技术研究所同济大学物理科学与工程学院

研究1064nm HfO/SiO偏振分光膜中节瘤缺陷的激光损伤,设计长波通偏振分光膜,对偏振片中的人工节瘤缺陷的损伤阈值进行测试,并用FTDT模拟偏振分光膜中节瘤缺陷的电场增强,验证了电场增强对偏振片中节瘤缺陷的激光损伤产生重要影响。

关键词：偏振分光膜节瘤缺陷电场增强

来源： cnki会议评论

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cnki会议

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具有预定参数的消偏振分光膜的设计

红外与激光技术 1986年第4期 32-39页

作者：钟迪生辽宁大学物理系

本文分析了采用两种以上膜层材料,使组合膜系在非垂直使用时,在一个波点处消除薄膜中的偏振效应,而在此波点处具有预先规定的反射率值的理论。在此基础上结合实际应用给出具体设计实例。

关键词：偏振分光膜膜层预先规定消偏振偏振效应反射率反射比率组合膜

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棱镜偏振分光膜

四川真空 1990年第1期19卷 10-10页

作者：王世林

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大角度高消光比偏振分光镜的设计

长春理工大学学报（自然科学版） 2023年第5期46卷 19-25页

作者：韩克旭付秀华李卓霖刘俊岐林兆文长春理工大学光电工程学院长春130022 长春理工大学中山研究院中山528436 吉林省教育学院长春130022

偏振分光镜作为核心光学元件,在液晶显示和投影系统中得到广泛应用。其性能的优劣直接影响图像的质量和光能的利用率,其中,光源的入射角度对偏振分光镜的性能影响很大。依据偏振分光镜的设计原理,对倾斜入射时S、P分量的反射带宽展开研... 详细信息

偏振分光镜作为核心光学元件,在液晶显示和投影系统中得到广泛应用。其性能的优劣直接影响图像的质量和光能的利用率,其中,光源的入射角度对偏振分光镜的性能影响很大。依据偏振分光镜的设计原理,对倾斜入射时S、P分量的反射带宽展开研究,通过对偏振分光镜影响因素的分析,针对大角度入射的问题,选取与基底匹配的高低折射率材料,并采用针插法改变等效折射率和相位,设计并制备了偏振分光镜,实现440~650 nm范围内,光源为平行光时,消光比大于1000∶1,且光源的发散角度在-10°~+10°范围内,S光平均反射率小于1%,P光平均透过率大于80%。

关键词：偏振分光镜大角度高消光比反射带宽偏振分光膜

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偏振分光棱镜带宽扩展设计与制备技术

光电技术应用 2018年第5期33卷 1-5,54页

作者：张金豹王明慧耿浩史成浡刘海伟孙亚威河南平原光电有限公司河南焦作454001

光学薄膜偏振分光棱镜是现代光电显示、光电测试、光电信息传输等系统的重要部件之一,但是,常规的光学薄膜偏振分光棱镜存在光坯化学稳定性差、偏振分光带宽窄、应用角度小等工艺难点。通过深入研究布儒斯特角偏振分光原理与干涉截止滤... 详细信息

光学薄膜偏振分光棱镜是现代光电显示、光电测试、光电信息传输等系统的重要部件之一,但是,常规的光学薄膜偏振分光棱镜存在光坯化学稳定性差、偏振分光带宽窄、应用角度小等工艺难点。通过深入研究布儒斯特角偏振分光原理与干涉截止滤光片膜系偏振分离效应,使两种设计方法进行结合扩展了偏振分光棱镜的偏振分光带宽,在化学稳定性好的德国肖特光学玻璃BK7光坯上,制备了P偏振光0.44～0.64μm,Tave≥95%,Rave≤5%,S偏振光0.44～0.64μm,Tave≤5%,Rave≥95%的偏振分光膜。这种结构的光学薄膜可以在不同材料光学玻璃光坯上设计优化出宽带宽、大角度、高偏振消光比的偏振分光棱镜,为偏振分光棱镜的设计与加工提供了新的理论依据与制备方案。

关键词：光学薄膜偏振分光膜干涉截止滤光片布儒斯特角