检索结果-南通市图书馆

机械工艺师 2001年第8期 49-51页

作者：盛国裕杨其华俞杭芳中国计量学院

介绍俄歇电子能谱仪的测试原理 ,举例说明在失效分析中的应用。

关键词：失效分析俄歇电子能谱仪表面成分分析

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俄歇电子能谱仪及其在微细加工技术中的应用

微细加工技术 1984年第2期 60-69页

作者：田清平长沙半导体工艺设备研究所

本文简要介绍俄歇电子能谱仪(简称AES)的基本原理、实验装置和测量方法以及它在微细加工技术中的一些应用。主要介绍在分子束外延、离子注入和离子刻蚀等方面的基本应用。

关键词：电子能量微细加工技术集成电路工艺能级 AES 表面分析俄歇过程空穴载流子(半导体) 原子序数俄歇电子能谱仪俄歇电子谱仪真空系统

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俄歇电子能谱仪的设计与调试

微细加工技术 1988年第1期 12-23页

作者：俄歇电子能谱仪组,田清平长沙半导体工艺设备研究所长沙半导体工艺设备研究所

本文介绍一种用于分子束外延（MBE）装置中的俄歇电子能谱仪（简称AES）。为了尽量简化结构,首次采用了电子、离子复合同轴枪的设计方案。由于电子束和离子束是在同一对称轴上,从而很好地解决了一向认为很难实现的对中问题。借助于样品... 详细信息

本文介绍一种用于分子束外延（MBE）装置中的俄歇电子能谱仪（简称AES）。为了尽量简化结构,首次采用了电子、离子复合同轴枪的设计方案。由于电子束和离子束是在同一对称轴上,从而很好地解决了一向认为很难实现的对中问题。借助于样品方位的改变,该AES仪器又可兼作中能电子衍射仪（MEED）用。当入射电子束的能量EP=3keV,束流IP=1～10μA时,能量分辨率△E/EP（?）0.5％,信噪比Is/IN（?）400（对Ag）,其主要技术指标与商品典型AES仪器相近。

关键词： AES 仪器电子枪样品旋转三电极俄歇电子能谱仪俄歇电子谱仪锁定放大器同轴圆筒能量分辨率微分谱焦距 CMA 信号噪声比信噪比 MBE

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俄歇电子能谱仪及其应用

理化检验通讯(物理分册) 1978年第3期 33-41页

作者：武蕴忠中国科学院上海冶金研究所

用一束具有一定能量的入射束轰击样品表面,从样品表面上会激发出多种信号。将各种检测器放在适当的位置上进行收集,就构成了不同的谱仪。近年来由于实验技术的飞速发展,出现了多种观察固体表面的新技术。根据入射束和被测信号的不同,可... 详细信息

用一束具有一定能量的入射束轰击样品表面,从样品表面上会激发出多种信号。将各种检测器放在适当的位置上进行收集,就构成了不同的谱仪。近年来由于实验技术的飞速发展,出现了多种观察固体表面的新技术。根据入射束和被测信号的不同,可将这些观察技术归纳于表1。俄歇电子能谱分析是一种非破坏性化学分析技术。它具有特别小的深度分辩能力(表面2～3个原子层),特别适用于研究固体表面。作为一种分析工具,俄歇电子能谱仪被广泛用于物理学、化学、冶金学、

关键词：俄歇电子能谱仪分析器连续波短脉冲原子层绝缘体壳层俄歇跃迁俄歇电子谱仪脉冲(力学) 棱柱层样品台俄歇电子能谱分析电子倍增器电子管

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俄歇电子能谱仪在材料科学中的应用

材料科学与工程学报 1988年第4期 1-6页

作者：张训生徐亚伯浙江大学物理系

材料科学是三大前沿学科之一。它的发展不仅直接影响国民经济的发展,而且也影响着其他学科的发展。所以,它一直得到人们的垂青。在材料研究中,人们用光学显微镜,继而用电子显微镜来研究材料的显微结构,在冶金和陶瓷行业中都已取得了显... 详细信息

材料科学是三大前沿学科之一。它的发展不仅直接影响国民经济的发展,而且也影响着其他学科的发展。所以,它一直得到人们的垂青。在材料研究中,人们用光学显微镜,继而用电子显微镜来研究材料的显微结构,在冶金和陶瓷行业中都已取得了显著进展。应用这些技术,可以确定相变、晶粒大小及形状;加上电子显微探针,在成分分析中又取得一大进步。但这些手段主要的不足之处在于缺乏深度分辨率,因此不能直接得到结构和组分在深度分布上的信息。而如回火脆性、腐蚀性、摩擦、

关键词：俄歇电子能谱仪深度剖析 AES 添加剂俄歇电子谱仪表面分析方法金属表面材料科学

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俄歇电子能谱仪高能量分辨率的获得

真空 1981年第3期 52-57+44页

作者：章纯思毕联训高培德陆月珍中国科学院上海冶金研究所

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俄歇电子能谱仪及其应用

地球与环境 1975年第12期 16-22页

作者：许自图

一、前言最近五、六年来,俄歇电子能谱仪成了固体材料分析的有力工具,在国外广受重视。俄歇电子是1925年由 Piere Auger 首先发现的。俄歇电子是电离化原子退激发时逸出的低能电子(目前受注意的是2000ev 以内的电子),这些电子的能量是... 详细信息

一、前言最近五、六年来,俄歇电子能谱仪成了固体材料分析的有力工具,在国外广受重视。俄歇电子是1925年由 Piere Auger 首先发现的。俄歇电子是电离化原子退激发时逸出的低能电子(目前受注意的是2000ev 以内的电子),这些电子的能量是由相关的原子能级决定的,每个元素都有其特征俄歇谱,并与原子所处化学环境有密切关系。

关键词：原子层低能电子衍射离子轰击共轴圆柱电子能量分布俄歇能谱分析杂质元素固体表面表面相俄歇谱入射电子能级俄歇电子谱仪俄歇电子能谱仪电子能量分析器晶体表面

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俄歇电子能谱仪及其在微细加工技术中的应用

微细加工技术 1985年第3期 43-51页

作者：田清平长沙半导体工艺设备研究所

(二)AES在微细加工技术中的应用自从朗缪尔关于吸附物质对钨阴极热电子发射影响的研究以后、表面分析在电子工业中就开始占住了重要地位。当时的表面分析主要集中在与阴极表面电子发射有关的现象中。本世纪50年代出现了半导体技术,使... 详细信息

(二)AES在微细加工技术中的应用自从朗缪尔关于吸附物质对钨阴极热电子发射影响的研究以后、表面分析在电子工业中就开始占住了重要地位。当时的表面分析主要集中在与阴极表面电子发射有关的现象中。本世纪50年代出现了半导体技术,使得表面分析的重心逐步向着半导体技术方向转移。随着微电子学的蓬勃发展,固体电子器件日益小型化,纵向尺寸已远小于其横向尺

关键词：微细加工技术俄歇电子能谱仪吸附物热电子发射纵向尺寸半导体技术阴极表面原子级表面分析生长机理

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俄歇电子能谱仪及其应用

理化检验.物理分册 1978年第3期 33-41页

作者：武蕴忠中国科学院上海冶金研究所

用一束具有一定能量的入射束轰击样品表面,从样品表面上会激发出多种信号。将各种检测器放在适当的位置上进行收集,就构成了不同的谱仪。近年来由于实验技术的飞速发展,出现了多种观察固体表面的新技术。根据入射束和被测信号的不同,可将这些观察技术归纳于表l。俄歇电子能谱分析是一种非破坏性化学分析技术。它具有特别小的深度分辩能力(表面2～3个原子层),特别适用于研究固体表面。作为一种分析工具,

关键词：电子能量分析器短脉冲 Pt 连续波脉冲(力学) 俄歇电子谱仪俄歇电子能谱仪样品台俄歇电子能谱分析电子管电子倍增器表面相固体表面原子层电子能量分布

利用俄歇电子能谱仪研究Al焊垫表面的F腐蚀

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半导体技术 2009年第10期34卷 1006-1010页

作者：齐瑞娟虞勤琴段淑卿王玉科李明郭强中芯国际半导体制造(上海)有限公司上海201203

Al焊垫的质量关系着半导体器件及封装的质量和可靠性。多项研究表明Al焊垫表面的沾污增强了Al焊垫腐蚀的可能性,特别是焊垫表面刻蚀后残留的F元素,极容易在焊垫表面引起各种类型得腐蚀。应用俄歇电子能谱仪,研究了两种发生在焊垫表面的... 详细信息

Al焊垫的质量关系着半导体器件及封装的质量和可靠性。多项研究表明Al焊垫表面的沾污增强了Al焊垫腐蚀的可能性,特别是焊垫表面刻蚀后残留的F元素,极容易在焊垫表面引起各种类型得腐蚀。应用俄歇电子能谱仪,研究了两种发生在焊垫表面的腐蚀现象,结合其他失效分析手段,分析了Al焊垫表面的F腐蚀的成因。研究结果表明,被腐蚀的Al焊垫表面F元素的相对含量较高,腐蚀缺陷所在区域的氧化层大为加厚,将直接影响到后期封装过程中Al和相应封装材料的金属键合,造成潜在的芯片失效。

关键词：铝焊垫俄歇电子能谱仪氟腐蚀失效分析

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