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应变和温度同时测量的交叉灵敏度分析

中国激光 1997年第12期24卷 1068-1072页

作者：马建军汤伟中浙江大学信息与电子工程学系电子信息技术研究所杭州310027

运用高双折射椭圆纤芯光纤应变和温度灵敏度的公式及相应的泰勒展开式.给出了估计交叉灵敏度大小的公式,阐明了文物理意义,并结合实际数据估计了忽略交叉灵敏度.对于任意应变和温度变化值,由线性方程组求得的解与实际值间的误差.得出了... 详细信息

运用高双折射椭圆纤芯光纤应变和温度灵敏度的公式及相应的泰勒展开式.给出了估计交叉灵敏度大小的公式,阐明了文物理意义,并结合实际数据估计了忽略交叉灵敏度.对于任意应变和温度变化值,由线性方程组求得的解与实际值间的误差.得出了一些具有实际意义的结论.

关键词：光纤传感器应变测量温度测量交叉灵敏度

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SOI压阻式面内加速度传感器的交叉灵敏度

微纳电子技术 2019年第10期56卷 822-827页

作者：袁本铸许煜贾琛北京东大国芯科技有限公司北京100095 西安交通大学精密工程与光学测试技术研究所西安710049

设计了一种基于绝缘衬底上硅(SOI)片的面内振动压阻式加速度传感器,并针对其交叉灵敏度性能进行了研究,分析得出传感器的灵敏度与压阻微梁的轴向应力呈正比关系,并通过仿真说明该结构形式的加速度传感器具有非常低的交叉灵敏度,对检测... 详细信息

设计了一种基于绝缘衬底上硅(SOI)片的面内振动压阻式加速度传感器,并针对其交叉灵敏度性能进行了研究,分析得出传感器的灵敏度与压阻微梁的轴向应力呈正比关系,并通过仿真说明该结构形式的加速度传感器具有非常低的交叉灵敏度,对检测方向的输出干扰非常小。进行了工艺加工和实验测试,实验结果表明,该面内振动的压阻式加速度传感器在20℃下,工作方向上的灵敏度为0.67 mV/g,而另外两个非工作方向(x轴和z轴)上的交叉灵敏度分别为7.3×10-4%和6.6×10-4%,对工作方向的加速度检测影响非常小,此结构的设计方法对于高性能的加速度传感器的研究具有重要的参考意义。

关键词：绝缘衬底上硅(SOI)片面内振动压阻式传感器加速度传感器交叉灵敏度

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红外分析器的交叉灵敏度及消除办法

化工自动化及仪表 1991年第6期18卷 69-72页

作者：施元赛四川仪表九厂重庆北碚630700

目前,我国在线红外分析器的应用还存在若干问题,其中一个重要问题就是存在背景干扰。本文着重介绍红外分析器消除交叉灵敏度的方法。通过四气室接收器、带通滤光片、滤波气室和流动参比气等新技术取得理想效果。在环氧乙烷生产过程中对... 详细信息

目前,我国在线红外分析器的应用还存在若干问题,其中一个重要问题就是存在背景干扰。本文着重介绍红外分析器消除交叉灵敏度的方法。通过四气室接收器、带通滤光片、滤波气室和流动参比气等新技术取得理想效果。在环氧乙烷生产过程中对若干新技术的应用实例,说明上述新技术的应用原理、选用方法及消除干扰的效果。

关键词：红外分析器交叉灵敏度

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压阻式传感器的应变与温度交叉灵敏度分析

仪表技术 2005年第2期 82-83页

作者：赵凡陕西理工学院基础一部陕西汉中723003

运用二元函数的泰勒展开式给出了应变与温度交叉灵敏度大小的公式,阐明了其物理意义,并结合实际测量数据估计了交叉灵敏度;对于实际使用传感器和进行补偿具有一定的指导意义。

关键词：压阻式传感器应变温度交叉灵敏度

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压阻式传感器的应变与温度交叉灵敏度分析

自动化仪表 2005年第11期26卷 35-36页

作者：曲国福赵凡西安理工大学机械与精密仪器学院西安710048 陕西理工学院汉中723003

运用二元函数的泰勒展开式在给出压阻式传感器的应变和温度灵敏度的同时,也给出了应变与温度交叉灵敏度大小的公式,阐明了其物理意义,并结合实际测量数据估计了交叉灵敏度,对于实际使用传感器并进行补偿具有一定的指导意义。

关键词：压阻式传感器应变温度交叉灵敏度压阻式传感器温度交叉灵敏度分析应变交叉灵敏度温度灵敏度泰勒展开式二元函数物理意义

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白光干涉型光纤加速度计的误差分析

光子学报 2016年第6期45卷 41-47页

作者：王明超王学锋王钊唐才杰黄建业北京航天控制仪器研究所北京100854 北京市光纤传感系统工程技术研究中心北京100094

针对所研制的一种能够测量加速度直流信号的光纤加速度计,建立了影响该加速度计测量准确度的光学原理误差、交叉灵敏度误差以及温度引起的误差模型,并对该模型进行了仿真和实验分析.结果表明:随着信噪比增加以及光谱采样间隔减小,解调... 详细信息

针对所研制的一种能够测量加速度直流信号的光纤加速度计,建立了影响该加速度计测量准确度的光学原理误差、交叉灵敏度误差以及温度引起的误差模型,并对该模型进行了仿真和实验分析.结果表明:随着信噪比增加以及光谱采样间隔减小,解调算法的测量误差水平降低,测量准确度可达到4.5×10-5g;在1倍重力加速度下交叉灵敏度误差为1.8mg;当环境温度20℃时,温度每升高(降低)1℃,会使标度因数增加(减小)0.79‰.

关键词：光纤光学光纤加速度计白光干涉误差分析交叉灵敏度标度因数

基于RBF神经网络的混合气体智能检测系统研究

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湖南大学学报（自然科学版） 2009年第7期36卷 82-84页

作者：常炳国湖南大学软件学院湖南长沙410082

基于传感器阵列和神经网络构造智能系统用于检测混合气体的低质量分数．传感器阵列获取质量分数为1×10^-6-5×10^-6范围的H2，C2H4，C2H2混合气体响应和质量分数为5×10^-5～3×10^-4范围的CO响应．通过RBF神经网络学习改善低质量分数... 详细信息

基于传感器阵列和神经网络构造智能系统用于检测混合气体的低质量分数．传感器阵列获取质量分数为1×10^-6-5×10^-6范围的H2，C2H4，C2H2混合气体响应和质量分数为5×10^-5～3×10^-4范围的CO响应．通过RBF神经网络学习改善低质量分数混合气体检测的灵敏度．把传感器响应作为神经网络输入，神经网络输出为H2，C2H4，C2H2和CO的质量分数．实例分析表明，系统能较好地克服低质量分数混合气体检测过程中普遍存在的交叉灵敏度，得到满意的检测结果．

关键词：智能系统交叉灵敏度传感器阵列 RBF神经网络

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新型优质的智能型压力变送器

四川大学学报（工程科学版） 2001年第6期33卷 97-100页

作者：丁明芳高启安马以武阜阳师范学院物理系安徽阜阳236032 合肥工业大学应用物理系安徽合肥230009 中科院合肥智能机械所安徽合肥230000

介绍了一种由单片机 80 31开发的智能型压力变送器的电路结构、软件设计及实验分析。由于采用了多传感器的信息融合技术 ,在单片机的控制管理下实现了智能型压力变送器的非线性校正 ,通过模拟实验测出的标定数据的计算可知 ,校正后的多... 详细信息

介绍了一种由单片机 80 31开发的智能型压力变送器的电路结构、软件设计及实验分析。由于采用了多传感器的信息融合技术 ,在单片机的控制管理下实现了智能型压力变送器的非线性校正 ,通过模拟实验测出的标定数据的计算可知 ,校正后的多传感器的交叉灵敏度大大减少 ,从而提高了测量精度。

关键词：智能型变送器信息融合交叉灵敏度压力变送器电路结构软件设计单片机控制

基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究(英文)

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传感技术学报 2007年第3期20卷 516-518页

作者：陈健陈德勇王军波中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京100080

为了提高电热激励/压阻拾振谐振式微加速度传感器的品质因数和消除交叉灵敏度,提出一种基于三梁结构的新设计.依据有限元模拟得到的固有振型来选择三梁结构参数,以减少能量耗散,提高品质因数.分析本设计消除交叉灵敏度的机制和独特的三... 详细信息

为了提高电热激励/压阻拾振谐振式微加速度传感器的品质因数和消除交叉灵敏度,提出一种基于三梁结构的新设计.依据有限元模拟得到的固有振型来选择三梁结构参数,以减少能量耗散,提高品质因数.分析本设计消除交叉灵敏度的机制和独特的三梁结构的激振方式并对其进行有限元模拟.模拟结果证实这种谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1000Hz/g.

关键词：微机械电子系统电热驱动谐振式微加速度传感器三梁结构交叉灵敏度有限元模拟