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三氯氢硅合成的热力学

有色金属（冶炼部分） 2012年第9期 55-59,68页

作者：彭如振俞小花谢刚姚云昆明理工大学冶金与能源工程学院昆明650093 云南冶金集团股份有限公司技术中心昆明650031

应用factsage软件研究三氯氢硅合成的复杂化学反应,绘制了体系中存在的8个化学反应的ΔG-T图。分析了当反应达到平衡,在0.01MPa、0.05 MPa和0.1 MPa以及进料比xHCl/xSi为1、3和6时,气相平衡组分分布与温度的关系。讨论了三氯氢硅产率随... 详细信息

应用factsage软件研究三氯氢硅合成的复杂化学反应,绘制了体系中存在的8个化学反应的ΔG-T图。分析了当反应达到平衡,在0.01MPa、0.05 MPa和0.1 MPa以及进料比xHCl/xSi为1、3和6时,气相平衡组分分布与温度的关系。讨论了三氯氢硅产率随温度、压强及进料比xHCl/xSi的变化情况。结果表明,低温、高压和一定进料比xHCl/xSi对三氯氢硅合成过程有利。

关键词：三氯氢硅热力学产率化学平衡

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四氯化硅制备三氯氢硅技术研究进展

现代化工 2014年第11期34卷 14-18,20页

作者：郑静苏国良黄国强王国锋潘金花天津大学化工学院天津300072 天津市天大北洋化工设备有限公司天津300192

阐述了多晶硅行业的生产背景和现状,概述了由四氯化硅和二氯二氢硅反歧化反应制备三氯氢硅的反歧化方法和四氯化硅氢化制备三氯氢硅的氢化方法,氢化方法主要包括热氢化法、低温催化氢化法、冷氢化法、氯氢化法、等离子体氢化法等,重点... 详细信息

阐述了多晶硅行业的生产背景和现状,概述了由四氯化硅和二氯二氢硅反歧化反应制备三氯氢硅的反歧化方法和四氯化硅氢化制备三氯氢硅的氢化方法,氢化方法主要包括热氢化法、低温催化氢化法、冷氢化法、氯氢化法、等离子体氢化法等,重点归纳了新型氢化技术低温催化氢化法,并介绍了反歧化方法和多种氢化方法在多晶硅生产过程中的应用,通过对各种方法综合性的分类与讨论,指出了现存方法的优缺点,并对各种方法的应用前景进行了展望。

关键词：多晶硅四氯化硅三氯氢硅反歧化反应氢化反应

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四氯化硅催化氢化合成三氯氢硅机理研究

化学工程与装备 2023年第4期 38-39+42页

作者：贾生成亚洲硅业(青海)股份有限公司

将详细介绍四氯化硅的回收方向与应用方法，通过专业的研究与调查，精准找出四氯化硅催化氢合成三氯氢硅的试验机理，在完成适宜的试验前准备后，对试验过程进行合理探索，其包含合理把控热氢化过程、科学选择催化剂、吸附分子结构、观... 详细信息

将详细介绍四氯化硅的回收方向与应用方法，通过专业的研究与调查，精准找出四氯化硅催化氢合成三氯氢硅的试验机理，在完成适宜的试验前准备后，对试验过程进行合理探索，其包含合理把控热氢化过程、科学选择催化剂、吸附分子结构、观察催化加氢过程反应及确认试验机理模型等，从而有效确认四氯化硅的催化氢化合成效果，提升多晶硅的应用频率。

关键词：三氯氢硅氢化催化四氯化硅多晶硅

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氢还原后三氯氢硅的杂质控制

化学反应工程与工艺 2017年第3期33卷 284-288页

作者：杨丞杰宋东明昆明冶研新材料股份有限公司云南曲靖655000 云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室云南曲靖655000

为控制还原后三氯氢硅中杂质含量,采用Aspen Plus模拟软件对还原后三氯氢硅提纯塔进行模拟计算,考察了提纯塔的进料量、回流量和采出量对还原后三氯氢硅中硼、磷杂质的影响,并结合实际生产探索还原后三氯氢硅中碳和金属杂质的控制措施... 详细信息

为控制还原后三氯氢硅中杂质含量,采用Aspen Plus模拟软件对还原后三氯氢硅提纯塔进行模拟计算,考察了提纯塔的进料量、回流量和采出量对还原后三氯氢硅中硼、磷杂质的影响,并结合实际生产探索还原后三氯氢硅中碳和金属杂质的控制措施。结果表明:降低提纯塔进料量,提高提纯塔回流量和采出量能有效降低还原后三氯氢硅中硼、磷杂质含量。对还原炉钟罩、基盘和备品备件进行合理的维护和选用,能有效控制氢还原后三氯氢硅中碳和金属杂质含量。

关键词：多晶硅还原三氯氢硅杂质控制

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分离三氯氢硅中甲基二氯硅烷的研究进展

无机盐工业 2021年第3期53卷 30-33,72页

作者：杨典王芳万烨孙强张征时庆合洛阳中硅高科技有限公司多晶硅材料制备技术国家工程实验室河南洛阳471000

三氯氢硅中的甲基二氯硅烷含量会严重影响多晶硅的品质,控制三氯氢硅中的甲基二氯硅烷含量对多晶硅的品质具有重要意义。重点介绍了三氯氢硅中甲基二氯硅烷的深度去除方法,包括常规精馏法、吸附法、反应精馏法和萃取精馏法。对比分析了... 详细信息

三氯氢硅中的甲基二氯硅烷含量会严重影响多晶硅的品质,控制三氯氢硅中的甲基二氯硅烷含量对多晶硅的品质具有重要意义。重点介绍了三氯氢硅中甲基二氯硅烷的深度去除方法,包括常规精馏法、吸附法、反应精馏法和萃取精馏法。对比分析了上述方法的优缺点,其中吸附法、反应精馏法是分离甲基二氯硅烷行之有效的方法,萃取精馏法也是分离甲基二氯硅烷的重要研究方向,并对这些工艺的发展方向进行了展望。

关键词：三氯氢硅甲基二氯硅烷吸附反应精馏萃取精馏

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三氯氢硅歧化的研究

稀有金属 1992年第4期16卷 315-316页

作者：莫金玑管丽民汪光裕中国科学院上海冶金研究所

目前,SiH_2Cl_2作为优质源材料在外延工艺中的应用日益广泛,可用于沉积多晶硅、无定形硅和氮化硅等,是研制集成电路的一种重要材料。很多研究工作者论述了以含氮原子功能团的非可溶性固体催化剂进行SiHCl_3岐化制取SiH_2Cl_2工艺。本文... 详细信息

目前,SiH_2Cl_2作为优质源材料在外延工艺中的应用日益广泛,可用于沉积多晶硅、无定形硅和氮化硅等,是研制集成电路的一种重要材料。很多研究工作者论述了以含氮原子功能团的非可溶性固体催化剂进行SiHCl_3岐化制取SiH_2Cl_2工艺。本文报导实验室条件下进行SiHCl_3岐化研究的若干结果。

关键词：三氯氢硅歧化反应

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三氯氢硅的生产技术与研究进展

无机盐工业 2011年第8期43卷 11-13页

作者：张开仕宜宾学院化学与化工学院四川宜宾644007

通过对国内外三氯氢硅的生产技术与研究进展进行评述,提出了三氯氢硅生产工艺的改进方法。三氯氢硅的生产方法有硅氢氯化法和四氯化硅氢化法,其中硅氢氯化法最为成熟。三氯氢硅氯化合成法工艺的关键是要在生产过程中,添加高效催化剂、... 详细信息

通过对国内外三氯氢硅的生产技术与研究进展进行评述,提出了三氯氢硅生产工艺的改进方法。三氯氢硅的生产方法有硅氢氯化法和四氯化硅氢化法,其中硅氢氯化法最为成熟。三氯氢硅氯化合成法工艺的关键是要在生产过程中,添加高效催化剂、优化精馏提纯工艺、采用合成尾气回收新技术,以增加收率、提高质量、降低成本。

关键词：三氯氢硅硅氯化氢

三氯氢硅歧化反应动力学及反应精馏生产硅烷工艺研究

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三氯氢硅歧化反应动力学及反应精馏生产硅烷工艺研究

作者：黄友光天津大学

学位级别：硕士

经济发展,化石能源消耗增加,化石能源属于不可再生能源,其消耗的增加不仅带来能源危机,同时也造成环境污染,例如中国多地出现雾霾现象,PM2.5频频爆表,给人们身体健康带来重大危害,为此,寻找清洁无污染可再生能源迫在眉睫,太阳能因其清... 详细信息

经济发展,化石能源消耗增加,化石能源属于不可再生能源,其消耗的增加不仅带来能源危机,同时也造成环境污染,例如中国多地出现雾霾现象,PM2.5频频爆表,给人们身体健康带来重大危害,为此,寻找清洁无污染可再生能源迫在眉睫,太阳能因其清洁无污染而成为首先,多晶硅是太阳能电池的主要材料之一。硅烷是硅烷法制备多晶硅材料的主要原料之一,也是半导体微电子工艺常用的电子气体,广泛应用于含硅涂层和薄膜中,其需求量越来越大。国内多晶硅厂目前尚不能生产电子级多晶硅,电子级多晶硅受制于国外,满足不了国内迅速发展电子行业所需的电子级多晶硅,不利于国内电子行业的发展。目前国内生产多晶硅主要采用改良西门子法,改良西门子法生产多晶硅能耗大,同时部分核心技术受国外控制,导致国内多晶硅厂不能生产电子级以及纯度更高的多晶硅;硅烷法生产多晶硅工艺流程简单,能耗低,利用该方法能生产电子级以及纯度更高的多晶硅,能满足迅速发展的国内电子行业的发展需求,硅烷是硅烷法制备多晶硅的主要原料,如何廉价的制备硅烷是一个急需解决的技术问题。针对该问题,本论文研究了三氯氢硅歧化反应精馏生产硅烷工艺,并自主设计反应精馏生产硅烷中试实验装置,成功制备出硅烷,打破了国外的技术封锁。本论文主要研究内容及结果如下:(1)四氯化硅氢化制备三氯氢硅,研究了反应温度、空速、压力和原料配比对Si Cl(四氯化硅)高温热氢化制备Si HCl(三氯氢硅)的影响;当反应温度1050°C,反应压力0.6Mpa(表压),反应空时1000 h-1,H(氢气)和STC(四氯化硅)物质的量比值为4,三氯氢硅的收率最高,达到19.81%。(2)研究了三氯氢硅歧化反应动力学,筛选出一种催化活性和耐温性好的催化剂PA100,探究了反应温度、催化剂填充量及催化剂颗粒大小对三氯氢硅歧化反应的影响,建立三氯氢硅歧化反应动力学模型,计算出反应活化能和指前因子。(3)探究了二氯氢硅歧化反应精馏以及三氯氢硅歧化反应精馏制备硅烷实验,自主设计了三氯氢硅歧化反应精馏中试实验装置,并利用该装置成功制备出硅烷,打破了国外的技术封锁。

关键词：三氯氢硅四氯化硅反应动力学反应精馏氢化

大孔树脂吸附法回收三氯氢硅生产过程中的尾气

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离子交换与吸附 2011年第6期27卷 562-569页

作者：宋宝东庞春霞宋宜华张钦良邢翠花天津大学化工学院化学工程研究所淄博宝运化工厂

三氯氢硅生产工艺中产生大量尾气,主要成分氢气、氯化氢、氯硅烷,如果直接排放不但污染环境,而且造成资源的浪费。用树脂吸附法对尾气进行回收并再利用,具有较大的工业应用前景。在Ф10×380mm玻璃吸附柱内,用型号为A1、A2、A3的3种大... 详细信息

三氯氢硅生产工艺中产生大量尾气,主要成分氢气、氯化氢、氯硅烷,如果直接排放不但污染环境,而且造成资源的浪费。用树脂吸附法对尾气进行回收并再利用,具有较大的工业应用前景。在Ф10×380mm玻璃吸附柱内,用型号为A1、A2、A3的3种大孔树脂,进行了吸附和解吸性能研究。结果表明,A1树脂性能最优。最佳吸附工艺条件为:温度20℃,尾气流量5L/h,吸附时间2.8h。解吸过程的最佳工艺条件:温度110℃,氮气流量7.5L/h,时间1.5h。

关键词：大孔树脂吸附三氯氢硅四氯化硅尾气