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Fabrication of solenoid-type microinductor with different magnetic core schemes by MEMS technique
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High technology.Letters 2006年 第3期12卷 260-262页
作者： 高孝裕 Zhou Yong Chen Ji＇ an Lei Chong Zhao Xiaolin National Key Laboratory of Nano/Micro Fabrcation Teclmology Key Laboratory for Thin Film and Microfabrication of Ministry of Education Institute of Micro and Nano Science and Teehnology Shanghai Jiaotong University Shanghai 200030 P.R. China
Two micromachined solenoid-type inductors with different electroplated core structures, ellipse and rectangle, were fabricated, tested and compared in order to reach optimum designs for integrated inductors and transf... 详细信息
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