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a.pha.tene Surfa.e Ero.io. in a.r Pla.ma

Pla.ma.Science a.d Techno.o.y 2010年第1期12卷 81-86页

作者： M. VILLa.M. Ca.IXTo.Ro.RIGUEZ H. Ma.TINEZ J. C. Po.EDa.P. G. REYES P. a.TUZa. fa.ulty o. Sciences Autonomous University of the State of Mexico State of Mexico Mexico Institute o. Physica. Sciences Autonomous National University of Mexico 62210 Cuernavaca Morelos Mexico Energy Resea.ch Center Autonomous National University of Mexico 62580 Temixco Morelos Mexico

o.tica. emissio. spectro.co.y wa. a.plied fo. pla.ma.cha.a.teriza.io. during ero.io. o. substra.es o. a.pha.tene. The a.o.nt o. 100 mg o. a.pha.tene wa. ca.efully a.plied to.a. electro.e a.d expo.ed to.a.r pla.ma.glo. discha.ge a. a.pressure o. 1.0 To.t. The pla.ma.wa. genera.ed in a.sta.nless steel discha.ge cha.ber by a. a. genera.o. with a.frequency o. 60 Hz a.d a. o.tput po.er o. a.o.t 60 W. The electro. tempera.ure wa. fo.nd to.be 6.88 eV, a.d the io. density is a.o.t 3.5×10^16 cm^-3. a. the a.pha.tene wa. expo.ed to.the a.r pla.ma. the surfa.e wa. etched. The emissio. fro. mo.ecula. ba.ds CS2,o., N2^＋, No. o., CS, S2, CN, C7H7, C2, H2, C2^-, Nio. N2 a.d So. a.d a.o.ic line o. were o.served a.d so.e o. them were used to.mo.ito. the evo.utio. o. a.pha.tene ero.io.. The a.pha.tene weight wa. reduced gra.ua.ly with a. etching ra.e o. a.o.t 0.844 mg/min, during the first 20 min.

关键词： o.tica. emissio. spectro.co.y a.pha.tene ero.io.

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