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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学

主题

  • 1 篇 光纤声波传感器
  • 1 篇 微悬臂梁
  • 1 篇 声压灵敏度
  • 1 篇 法布里-珀罗干涉仪...
  • 1 篇 飞秒激光微加工

机构

  • 1 篇 深圳技术大学

作者

  • 1 篇 杜晨林
  • 1 篇 唐前浩
  • 1 篇 朱一新
  • 1 篇 陈永璋
  • 1 篇 郑怡雯
  • 1 篇 阮双琛
  • 1 篇 于永芹

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"基金资助=深圳技术大学研究生院与企业合作项目"
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飞秒激光加工微悬臂梁薄膜光纤声波传感器
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光子学报 2023年 第10期52卷 209-219页
作者： 郑怡雯 陈永璋 唐前浩 朱一新 于永芹 杜晨林 阮双琛 深圳技术大学广东省高校先进光学精密制造技术重点实验室 深圳518118 深圳技术大学新材料与新能源学院 深圳518118 深圳技术大学中德智能制造学院 深圳518118
设计并制作了一种光纤微悬臂梁传感器,由于悬臂梁在受迫振动过程中不会产生拉伸变形,与四周固定的圆形密闭薄膜相比,会产生更高的声波灵敏度。采用飞秒激光加工制作微悬臂梁薄膜光纤声波传感器,制备出长宽均为500μm,厚6μm的微悬臂梁... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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