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原子层沉积技术生长单质钨薄膜

半导体技术 2022年第9期47卷 699-703页

作者：王浙加冯嘉恒夏洋明帅强屈芙蓉中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心浙江嘉兴314000 嘉兴科民电子设备技术有限公司浙江嘉兴314000 中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室北京100029

采用热型原子层沉积(ALD)技术在单晶硅基底上成功制备了单质钨薄膜。利用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、掠入射X射线衍射仪(GIXRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、四探针测试仪对样品的生长速率、晶体结构、薄膜成分以及电阻率进行了表征和... 详细信息

采用热型原子层沉积(ALD)技术在单晶硅基底上成功制备了单质钨薄膜。利用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、掠入射X射线衍射仪(GIXRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、四探针测试仪对样品的生长速率、晶体结构、薄膜成分以及电阻率进行了表征和分析。结果表明,热型原子层沉积技术生长单质钨薄膜的温度窗口为200~250℃,生长的薄膜呈多晶态,由较小粒径的颗粒组成,具有(210)晶面择优取向。XPS测试表明薄膜中W 4f、W 4f及W 5p_(3/2)的特征峰分别位于31.5~31.6、33.5~33.7及36.9~37.1 eV结合能位置处,主要含有W、C、O等元素。生长的单质钨薄膜为β相钨,电阻率为1.6×10^(-4)~3.0×10^(-4)Ω·cm。

关键词：原子层沉积(ALD) 钨电阻率多晶薄膜 β相

水下油气设施阴极保护及电位测量技术研究进展

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广西科学院学报 2022年第1期38卷 11-19,F0003页

作者：黄明泉朱志慧刘彬栾振东中海辉固地学服务(深圳)有限公司广东深圳518067 广东省海上油气设施检测工程技术研究中心广东深圳518067 中国科学院海洋研究所中国科学院海洋地质与环境重点实验室山东青岛266071 中国科学院海洋大科学研究中心山东青岛266071 中国科学院大学北京100049

海上油气田水下设施投入生产后,各类型钢结构水下设施除涂层保护外,会采用牺牲阳极、外加电流或两者相结合的不同阴极保护技术的防腐措施,这些防腐系统的状态将会影响水下设施的安全和使用寿命。通过阴极保护检测和评估,能及时评估水下... 详细信息

海上油气田水下设施投入生产后,各类型钢结构水下设施除涂层保护外,会采用牺牲阳极、外加电流或两者相结合的不同阴极保护技术的防腐措施,这些防腐系统的状态将会影响水下设施的安全和使用寿命。通过阴极保护检测和评估,能及时评估水下设施的腐蚀状态,及早发现异常并尽快采取补救措施,使设施长期安全运行。本文主要对阴极保护技术的基本原理、阴极保护的电位测量技术进行阐述,并对阴极保护在各类型水下设施的应用、电位测量技术的对比和应用情况进行分析,着重对辉固阴极保护监测系统(Fugro Cathodic Protection Monitoring System,FCPMS)的组成和应用成果进行介绍,以及对未来阴极保护技术和电位测量技术的使用趋势进行论述。

关键词：水下设施阴极保护水下遥控机器人电位测量电场梯度测量

渤海中部海域海底地形地貌特征及其影响因素分析

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广西科学院学报 2022年第1期38卷 31-39页

作者：王浩森张建兴宋永东庄丽华栾振东阎军中国科学院海洋研究所中国科学院海洋地质与环境重点实验室山东青岛266071 中国科学院大学北京100049 中国科学院海洋大科学研究中心山东青岛266071

渤海中部海域位于三湾(渤海湾、莱州湾、辽东湾)交汇处,形成与演化历史悠久,沉积物源丰富,其内部蕴含着丰富的地质信息。本研究基于多年来采集和搜集的高精度地形地貌数据、浅地层剖面数据和沉积物样品的测试分析数据,精细刻画了渤海中... 详细信息

渤海中部海域位于三湾(渤海湾、莱州湾、辽东湾)交汇处,形成与演化历史悠久,沉积物源丰富,其内部蕴含着丰富的地质信息。本研究基于多年来采集和搜集的高精度地形地貌数据、浅地层剖面数据和沉积物样品的测试分析数据,精细刻画了渤海中部海域海底地形地貌特征,并对其影响因素进行了分析。研究表明,渤海中部海域海底地形总体上呈现中间低、南北两侧高的特征,北部区域地形复杂,南部区域地形较平坦。根据海底地貌特点,本文将研究区海底地貌单元划分为陆架侵蚀洼地、陆架堆积平原及海湾堆积平原。地貌形态是区域地质构造运动、海平面变化、现代海洋水动力、沉积物来源等共同作用的结果。研究渤海中部海域海底地形地貌特征,有助于深化对其地质构造演化的认识,并且对海洋工程建设、海洋牧场开发、海洋资源利用及海洋经济发展具有重要意义。

关键词：渤海中部海域多波束海底地形地貌类型分布特征

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甚大面积伽马射线空间望远镜计划

天文学报 2022年第3期63卷 13-30页

作者：范一中常进郭建华袁强胡一鸣李翔岳川黄光顺刘树彬封常青张云龙魏逸丰孙志宇余玉洪孔洁赵承心藏京京蒋维潘旭韦家驹汪慎段凯凯沈兆强夏子晴徐遵磊冯磊黄晓渊蔡岳霖魏俊杰曾厚敦贺昊宁李剑杨睿智颜景志张毅吴雪峰韦大明中国科学院紫金山天文台南京210023 中国科学院暗物质与空间天文重点实验室南京210023 中国科学技术大学天文与空间科学学院合肥230026 核探测与核电子学国家重点实验室中国科学技术大学合肥230026 中国科学技术大学近代物理系合肥230026 中国科学院近代物理研究所兰州730000 临沂大学物理与电子工程学院临沂276000 中国科学院国家天文台北京100049

高能伽马射线探测是研究极端天体物理的主要途径之一.空间高能伽马射线探测具有覆盖波段宽、时间连续性好、能量分辨率高等突出优势.在成功研发并运行我国首颗天文卫星—"悟空"号(DArk Matter Particle Explorer,DAMPE)的基础上,紫金山... 详细信息

高能伽马射线探测是研究极端天体物理的主要途径之一.空间高能伽马射线探测具有覆盖波段宽、时间连续性好、能量分辨率高等突出优势.在成功研发并运行我国首颗天文卫星—"悟空"号(DArk Matter Particle Explorer,DAMPE)的基础上,紫金山天文台联合国内的多家单位提议研制甚大面积伽马射线空间望远镜(Very Large Areagamma-ray Space Telescope,VLAST),该望远镜在GeV-TeV能段接受度高达10 m^(2)·sr,并具有强的MeV-GeV波段探测能力,其综合性能预期比费米卫星的大面积伽马望远镜(Fermi-LAT(Large Area Telescope))提升10倍之上.重点介绍了VLAST的主要科学目标,探测器的初步配置及预期性能指标.

关键词：仪器:探测器伽马射线:普通辐射机制:非热粒子天体物理

TIMS(Triton)测定质量范围的扩展及其在溴同位素测定中的应用

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质谱学报 2016年第5期37卷 465-470页

作者：马云麒彭章旷韩凤清刘文贵杨剑肖应凯张艳灵中国科学院青海盐湖研究所盐湖地质与环境实验室青海西宁810008 中国科学院青海盐湖研究所盐湖化学分析测试中心青海西宁810008 中国科学院大学北京100049 中国地质大学湖北武汉430074

稳定溴同位素可用来识别和评价地下水的来源、成因及其形成的水文地球化学与物理过程。由于热电离质谱仪Triton的加速电压是固定10kV不可调节的,因此,其最大的测定质量数为310u。为了测定质量数更高的Cs2Br^+(m/z345,347)离子,本研究通... 详细信息

稳定溴同位素可用来识别和评价地下水的来源、成因及其形成的水文地球化学与物理过程。由于热电离质谱仪Triton的加速电压是固定10kV不可调节的,因此,其最大的测定质量数为310u。为了测定质量数更高的Cs2Br^+(m/z345,347)离子,本研究通过对热电离质谱仪Triton加速电压单元的改造,成功地将加速电压由10kV降低到8kV,使可测定的离子质量数从310u扩展到350u。在此基础上,建立了在8kV加速电压下相应的质量校正曲线,进行了基于133 Cs279 Br^+(m/z 345)和133 Cs281Br^+(m/z347)离子的稳定溴同位素静态多接收测量。结果表明:当溴含量低于10μg时,测定结果偏低;当溴含量高于10μg时,测定结果正常。该方法测定溴同位素具有涂样量少(10~20μg Br),测定外精度高(0.09‰~0.18‰)和采集数据时间短(8min可采集100个数据)等优点,可为地质样品中溴同位素地球化学的研究提供参考。

关键词：正热电离质谱(P-TIMS) 加速电压改造溴同位素静态多接收

基于激光拉曼光谱的水面油膜厚度测量方法研究

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光谱学与光谱分析 2018年第6期38卷 1661-1664页

作者：蔡宗岐冯巍巍王传远中国科学院烟台海岸带研究所海岸带环境工程技术研究中心山东烟台264003 中国科学院大学北京100049

为了实现水体表面油膜厚度的快速非接触检测,基于激光拉曼光谱检测技术,搭建了水体表面油膜厚度拉曼光谱检测系统。以532nm激光作为激发光源,以常见的柴油和汽油为例研究了不同油品的拉曼光谱特性,研究结果表明,油膜拉曼光谱响应特性与... 详细信息

为了实现水体表面油膜厚度的快速非接触检测,基于激光拉曼光谱检测技术,搭建了水体表面油膜厚度拉曼光谱检测系统。以532nm激光作为激发光源,以常见的柴油和汽油为例研究了不同油品的拉曼光谱特性,研究结果表明,油膜拉曼光谱响应特性与油品密切相关,相同油膜厚度情况下不同油品的拉曼光谱曲线有明显的差异,97~#汽油在1 651cm^(-1)光谱强度要高于90~#汽油。随着油膜厚度的增加,柴油316和1 451cm^(-1)光谱强度和汽油1 651cm^(-1)拉曼位移光谱强度增加,油拉曼光谱信号变强;根据油水界面拉曼光谱特征,设计了油膜厚度计算因子,实验证明随着油膜厚度增加,油膜厚度计算因子r_(film)呈下降趋势。可以将油膜厚度计算因子作为水体表面油膜厚度测量的一种依据。

关键词：拉曼光谱油膜厚度水环境监测

AlGaN表面相分离的同位微区荧光光谱和高空间分辨表面电势表征

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物理学报 2020年第12期69卷 124-132页

作者：刘博阳宋文涛刘争晖 †孙晓娟王开明王亚坤张春玉陈科蓓徐耿钊徐科黎大兵中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院合肥230026 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所苏州215123 中国科学技术大学纳米科学技术学院苏州215123 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130033

AlGaN是制备深紫外光电器件和电子器件的重要材料.随着Al组分的增加,AlGaN材料表面容易出现局域组分不均匀的相分离现象,进而影响器件的性能.为了探索相分离的微观机制,本文采用了同位的共聚焦微区荧光光谱和扫描开尔文探针显微术对不... 详细信息

AlGaN是制备深紫外光电器件和电子器件的重要材料.随着Al组分的增加,AlGaN材料表面容易出现局域组分不均匀的相分离现象,进而影响器件的性能.为了探索相分离的微观机制,本文采用了同位的共聚焦微区荧光光谱和扫描开尔文探针显微术对不同Al组分的AlGaN表面相分离现象进行了表征.三片样品的Al组分比分别约为0.3,0.5和0.7.本文采用的基于双频锁相的单次扫描开尔文探针显微术,可获得高空间分辨(约10 nm)的表面电势像.在微区荧光光谱中出现明显相分离现象的区域,利用此方法获得的表面电势像可以清晰地观察到犬牙交错的台阶及其表面凹坑边缘的电势变化,对应组分的不均匀性.随着台阶转入台阶流的形态,表面凹坑逐渐缩小和合并,台阶和凹坑边缘不再出现明显的电势畴界,光谱中相分离的现象消失.实验结果表明,AlGaN表面的台阶和凹坑边缘是产生组分不均匀性,进而在光谱中产生相分离现象的主要原因;结合同位微区荧光光谱,高分辨的扫描开尔文探针显微术是一种有效的表征AlGaN相分离微观机制的方法.

关键词：铝镓氮相分离扫描开尔文探针显微术荧光光谱

基于年轮年代学重建青藏高原东缘百年来重金属污染历史

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长江流域资源与环境 2021年第1期30卷 191-201页

作者：何咏梅罗辑李伟杨丹荔中国科学院、水利部成都山地灾害与环境研究所四川成都610041 中国科学院大学北京100049 成都理工大学地球科学学院四川成都610101

采用年轮化学分析方法,测定了青藏高原东缘贡嘎山东坡峨眉冷杉(Abies fabri)年轮中8种重金属元素(Pb、Cd、Cr、Mn、Cu、Zn、Sr和As)含量,分析了过去150年间重金属元素含量的变化特征,并探讨了重金属元素的可能来源。结果表明:Mn、Cu、Z... 详细信息

采用年轮化学分析方法,测定了青藏高原东缘贡嘎山东坡峨眉冷杉(Abies fabri)年轮中8种重金属元素(Pb、Cd、Cr、Mn、Cu、Zn、Sr和As)含量,分析了过去150年间重金属元素含量的变化特征,并探讨了重金属元素的可能来源。结果表明:Mn、Cu、Zn作为植物生长发育的必需元素,其含量显著大于其余5种重金属,8种重金属元素中,除Mn、Cu含量变化趋势较为单一之外,其余6种重金属含量均表现出复杂的变化趋势;相关分析和聚类分析显示,树轮中Cr、Sr、Pb、As为一类,主要受到人为源和自然源的综合影响;Mn、Zn、Cd为一类,主要受到人为污染源的影响;Cu元素单独归类,很大程度上来自于地壳源。青藏高原东缘地区树轮中重金属含量相对较低,但是随着工业生产活动增加,该地区重金属污染状况已有所增加,通过对该地区树轮中重金属含量的分析,有利于重建该地区重金属污染历史。

关键词：青藏高原东缘峨眉冷杉年轮年代学重金属

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水溶液中溶质的扩散同位素分馏研究

地球化学 2022年第1期51卷 1-8页

作者：张霁云金彪张干中国科学院广州地球化学研究所有机地球化学国家重点实验室广东广州510640 中国科学院深地科学卓越创新中心广东广州510640 中国科学院大学北京100049

稳定同位素分析是判定水溶液中溶质的组成、来源、迁移和转化过程与规律的重要工具,在自由扩散等物理化学作用下,对溶质的同位素分馏研究是稳定同位素技术应用的重要基础。本研究介绍了溶质的扩散过程与其同位素分馏效应之间的联系,论... 详细信息

稳定同位素分析是判定水溶液中溶质的组成、来源、迁移和转化过程与规律的重要工具,在自由扩散等物理化学作用下,对溶质的同位素分馏研究是稳定同位素技术应用的重要基础。本研究介绍了溶质的扩散过程与其同位素分馏效应之间的联系,论述了研究溶质扩散过程中引入的稳定同位素分馏现象的意义,描述了水溶液中溶质扩散的不同模拟实验方法及相关研究进展,总结分析了包括扩散系数、质量相关性等因素的影响,并介绍了基于水膜理论和分子动力学模型模拟阐释溶质扩散同位素分馏机理的相关研究成果,对今后的研究趋势和主要任务进行了展望。

关键词：水溶液扩散同位素分馏