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2010 International Colloquium on Computing,Communication, Control, and Management (CCCM2010)

作者： xu hongwei college of mechanical engineering china jiliang university hangzhou,china huang yanyan,gao yanfeng college of mechanical engineering china jiliang university hangzhou,china

In this paper,a higher-order sampled-data iterative learning control method is presented for nonlinear system with relative degree and output time *** higher-order learning algorithm does not include numerical differentiations of any error order.A sufficient condition is proposed that the iterative learning control converges to the desired trajectory at each sampling instant if some Lipschiz conditions are satisfied and the sampling period is small enough.A simulation example shows that higher-order algorithm has larger convergence rate.

关键词： Sampled-data iterative learning control,Relative degree,Higher-order learning algorithm,Bellman lemma,convergence rate

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Phase control of ellipsometric interferometer for nanometric positioning system

引用

Science china(Technological Sciences) 2011年第12期54卷 3424-3430页

作者： xu SuAn CHASSAGNE Luc TOPCU Suat ZHONG ShaoJun huang yanyan college of mechanical and Electrical engineering China Jiliang University Hangzhou 310018 China LISV University of Versailles Saint-Quentin Versailles cedex 78035 France

Development in industry is asking for improved resolution and higher accuracy in dimensional metrology. In this paper,we proposed a control displacement method based on a polarization ellipsometirc interferometer and phase-locked loop technique. The proposed principle was set up. The experimental results of step and step displacements with a step value of 5 nm were presented. We also analyzed the resolution,the potential minimal displacement of the established system. The results show that the position error induced by the ellipticty deviation of the light beam becomes negligible thanks to our signal processing circuit with high-order filter. This method could be useful for many applications in nano dimensional metrology and semiconductor industry.

关键词： ellipsometric interferometer phase locked loop nanometric position control displacement monitoring

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