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ChemFET gas nanosensor arrays with alignment windows for assembly of single nanowires

Nano Research 2023年第7期16卷 10234-10244页

作者： Ondřej Chmela Imrich Gablech Jakub Sadílek Jan Brodský stella vallejos Central European Institute of Technology Brno University of TechnologyPurkyňova 12361200 BrnoCzech Republic Faculty of Electrical Engineering and Communication Brno University of TechnologyDepartment of MicroelectronicsTechnická3058/1061200 BrnoCzech Republic Instituto de Microelectrónica de Barcelona(IMB-CNM CSIC)Campus UABCarrer dels Til·lersCerdanyola del Vallès08193 BarcelonaSpain

This work focuses on the fabrication and characterization of Chemical Field-Effect Transistor(ChemFET)gas nanosensor arrays based on single nanowire(SNW).The fabrication processes include micro and nanofabrication techniques enabled by a combination of ultraviolet(UV)and e-beam lithography to build the ChemFET *** show the integration and connection of SNWs across the multiple pairs of nanoelectrodes in the ChemFET by dielectrophoresis process(DEP)thanks to the incorporation of alignment windows(200-300 nm)adapted to the diameter of the *** of the SNW ChemFET array's output and transfer characteristics prove the influence of gate bias on the drain current *** upon hydrogen(H_(2))and nitrogen dioxide(NO_(2))as analyte models of reducing and oxidizing gases show the ChemFET sensing ***,results demonstrate better response characteristics to H_(2)when the ChemFET operates in the subthreshold *** design concepts and methods proposed for fabricating the SNW-based ChemFET arrays are versatile,reproducible,and most likely adaptable to other systems where SNW arrays are required.

关键词： Chemical Field-Effect Transistor(ChemFET)nanosensors nanowires nanoelectrodes gas sensors

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