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SPR系统加速Fab范围内成品率提升
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集成电路应用 2008年 第5期25卷 26-29页
作者： Andrew Drozda-Freeman Mike Mclntyre Mike Retersdorf Chirs Wooten prasad bachiraju xin Song Len La Bua Advanced Micro Devices Rudolph Technologies Inc.
缺陷图样识别(SPR)技术可以加速对良率损失问题的矫正。其面临的最大挑战在于如何配置SPR系统才能高效地处理现代fab所产生的海量数据,并对数据加以组织以提供快速一致的解决方案。
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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