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A tabletop X-ray tomography instrument for nanometer-scale imaging: reconstructions
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Microsystems & Nanoengineering 2023年 第2期9卷 249-259页
作者： Zachary H.Levine Bradley K.Alpert Amber L Dagel Joseph W.Fowler Edward S.Jimenez Nathan Nakamura Daniel S.Swetz paul szypyt Kyle R.Thompson Joel N.Ulom National Institute of Standards and Technology GaithersburgMD 20899USA National Institute of Standards and Technology BoulderCO 80305USA Sandia National Laboratories AlbuquerqueNM 87123USA Department of Physics University of ColoradoBoulderCO 80309USA
We show three-dimensional reconstructions of a region of an integrated circuit from a 130 nm copper *** reconstructions employ x-ray computed tomography,measured with a new and innovative high-magnification x-ray *** ... 详细信息
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