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  • 1 篇 工学
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主题

  • 1 篇 纳米岛
  • 1 篇 微加工
  • 1 篇 纳米技术
  • 1 篇 光刻

机构

  • 1 篇 department of el...
  • 1 篇 中科院高能物理研...

作者

  • 1 篇 mino green
  • 1 篇 伊福廷

语言

  • 1 篇 中文
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纳米岛光刻技术及其应用
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微细加工技术 2004年 第4期 22-26页
作者： 伊福廷 mino green 中科院高能物理研究所 北京100039 Department of Electrical and Electronic Engineering Imperial CollegeExhibition Road
介绍了一种基于微加工技术的新方法———纳米岛光刻技术。利用该技术制造出几十纳米到微米尺度的岛结构,然后利用剥离、刻蚀等微加工技术,将该岛转化成纳米孔、纳米岛、纳米井等结构。该技术的特点是能够制造出具有各种密度的纳米结构... 详细信息
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