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作者

  • 1 篇 杨颖
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  • 1 篇 makita yunosuke
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检索条件"作者=makita Yunosuke"
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Fabrication of iron disilicide from multilayer by helicon plasma sputtering
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中国有色金属学会会刊：英文版 2005年 第S3期15卷 434-438页
作者： 沈鸿烈 杨颖 SAKAMOTO Isao KOIKE Masaki makita yunosuke College of Materials Science and Technology Nanjing University of Aeronautics and Astronautics Nanjing 210016 China National Institute of Advanced Industrial Science and Technology Photonics Research Institute Tsukuba Ibaraki 305-8568 Japan
Helicon plasma sputtering of Fe/Si multilayer followed by thermal annealing in Ar atmosphere was used to fabricate β-FeSi2 films. [Fe 0.5nm/Si 1.6nm] 120 multilayer was deposited on Si（100） substrate and then t... 详细信息
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