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国际医学放射学杂志 2012年第2期 189-189页

作者： m.N.Plana C.Carreira A.muriel m.chiva V.Abraira J.I.Emparanza 陈柱 Clinical Biostatistics Unit.Hospital Universitario Ramón y Cajal CIBER en Epidemiología y Salud Pública(CIBERESP) and Instituto de Investigación Sanitaria(IRYCIS)Ctra.Colmenar km 9100 28034MadridSpain

目的评估mRI在发现原发性乳腺癌病人行常规影像未能识别的额外病灶以及对侧癌灶的诊断准确性。方法通过系统性回顾及荟萃分析评估诊断准确性以及mRI对外科手术的影响。结果回顾50篇文章,共计10811例女性

关键词：乳腺癌 mRI 敏感性和特异性系统性回顾荟萃分析

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Design,fabrication,characterization and reliability study of CmOS-mEmS Lorentz-force magnetometers

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microsystems & Nanoengineering 2022年第5期8卷 17-41页

作者： J.J.Valle J.m.Sánchez-chiva D.Fernández J.madrenas Department of Electronic Engineering Universitat Politècnica de CatalunyaJordi Girona 1 i 3Edifici C408034 BarcelonaSpain Sorbonne Université CNRSLaboratoire de Recherche en Informatique(LIP6)UMR76064 place Jussieu75005 ParisFrance Institut de Física d’Altes Energies(IFAE) The Barcelona Institute of Science and Technology(BIST)Edifici Cn.Facultat Ciències NordUniversitat Autónoma de Barcelona08193 Bellaterra(Barcelona)Spain

This article presents several design techniques to fabricate micro-electro-mechanical systems(mEmS)using standard complementary metal-oxide semiconductor(CmOS)*** were applied to fabricate high yield CmOS-mEmS shielded Lorentz-force magnetometers(LFm).The multilayered metals and oxides of the back-end-of-line(BEOL),normally used for electronic routing,comprise the structural part of the *** most important fabrication challenges,modeling approaches and design solutions are *** that predict the Q factor,sensitivity,Brownian noise and resonant frequency as a function of temperature,gas pressure and design parameters are presented and validated in characterization tests.A number of the fabricated magnetometers were packaged into Quad Flat No-leads(QFN)*** show this process can achieve yields above 95%when the proper design techniques are *** CmOS not being a process for mEmS manufacturing,estimated performance(sensitivity and noise level)is similar or superior to current commercial magnetometers and others built with mEmS ***,typical offsets present in Lorentz-force magnetometers were prevented with a shielding electrode,whose efficiency is ***,several reliability test results are presented,which demonstrate the robustness against high temperatures,magnetic fields and acceleration shocks.

关键词： Lorentz magnetometer characterization

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